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一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置
| 专利名称： | 一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置 |
| 摘要： | 本实用新型涉及晶硅太阳能电池领域，具体涉及一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置，包括称重机构和读数机构，所述称重机构包括第一称重器和第二称重器，所述第一称重器设置在所述进料端，所述第二称重器设置在所述出料端，所述第一称重器和所述第二称重器均连接所述读数机构，所述读数机构分别获取所述第一称重器与所述第二称重器的数值，所述第一称重器的数值减去所述第二称重器的数值为所述硅片的刻蚀减重数，利用本实用新型可以方便快捷的获取刻蚀槽内硅片的实时刻蚀减重，方便工艺人员控制产线稳定性，从而改善刻蚀不稳所造成的差异，最终提高良品率，无需专门设置作业人员人工称量，自动化程度高，结果精准，省时省力，工作效率高，具有广阔的应用前景。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 苏州润阳光伏科技有限公司 |
| 发明人： | 李学峰 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-09-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-07-23T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201821575825.6 |
| 公开号： | CN209148475U |
| 分类号： | G01N5/04(2006.01);G;G01;G01N;G01N5 |
| 申请人地址： | 215300 江苏省苏州市昆山开发区前进东路帝宝金融大厦20楼 |
| 主权项： | 1.一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置，用于对刻蚀槽内的硅片刻蚀减重进行称量，所述刻蚀槽设有进料端和出料端，其特征在于，包括称重机构和读数机构，所述称重机构包括第一称重器和第二称重器，所述第一称重器设置在所述进料端，所述第二称重器设置在所述出料端，所述第一称重器和所述第二称重器均连接所述读数机构，所述读数机构分别获取所述第一称重器与所述第二称重器的数值，所述第一称重器的数值减去所述第二称重器的数值为所述硅片的刻蚀减重数。 2.根据权利要求1所述的链式多晶酸刻蚀自动称重装置，其特征在于，所述第一称重器和第二称重器均为电子天平。 3.根据权利要求1所述的链式多晶酸刻蚀自动称重装置，其特征在于，所述读数机构为具有数据处理软件的通用计算机。 4.根据权利要求1所述的链式多晶酸刻蚀自动称重装置，其特征在于，所述读数机构为专用数据处理器。 5.根据权利要求1所述的链式多晶酸刻蚀自动称重装置，其特征在于，所述进料端设有上料机械手，所述出料端设有下料机械手。 6.根据权利要求5所述的链式多晶酸刻蚀自动称重装置，其特征在于，所述上料机械手上设有上料吸盘，所述下料机械手上设有下料吸盘。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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