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原文传递一种基于飞秒激光加工的多取向介观拉伸样品制备方法

专利名称：	一种基于飞秒激光加工的多取向介观拉伸样品制备方法
摘要：	本发明为一种基于飞秒激光加工的多取向介观拉伸样品制备方法。该方法利用线切割设备切下所需样品薄片，利用抛光砂纸对薄片进行机械减薄，把减薄后薄片清洗干净，放入飞秒激光加工系统的操作台，按照需求调整加工参数，设定拉伸样品的几何形状，进行激光加工，加工完成后利用除尘器去除样品表面的离子沉淀且使用溶液清洗干净，清洗后对样品进行电解抛光，获得多取向介观拉伸样品。本发明的制备方法对比现有的制样方法不仅速度快，成本低，而且能满足对尺寸较小材料多取向做微观拉伸测试的需求。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	南京理工大学
发明人：	付浩;尤泽升;王浩;鲍伟康;包晨杰
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-18T00:00:00+0800
发布日期：	2019-04-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201910048616.9
公开号：	CN109668765A
代理机构：	南京理工大学专利中心
代理人：	邹伟红
分类号：	G01N1/28(2006.01);G;G01;G01N;G01N1
申请人地址：	210094 江苏省南京市孝陵卫200号
主权项：	1.一种基于飞秒激光加工的多取向介观拉伸样品制备方法，其步骤为：步骤一：用线切割设备将样品切成厚0.8mm-1mm的薄片，并依次使用清水、乙醇、丙酮对薄片进行超声清洗，去除样品表面残留的污渍；步骤二：利用砂纸对步骤一获得的薄片进行进一步机械减薄，直至厚度减薄至50-100μm，再次对减薄后样品依次使用清水、乙醇、丙酮进行超声清洗，去除样品表面残留物；步骤三：将洁净纸片两端通过胶布粘到玻璃片上，将步骤二获得的薄片放入纸片下方固定；步骤四：将步骤三中带有样品的玻璃片放入飞秒激光加工的操作台上，开启真空泵，固定玻璃片；步骤五：启动飞秒激光加工设备，导入激光加工形状，输入激光加工参数，开始激光加工；步骤六：品激光加工完成后，使用除尘器去除介观拉伸样品表面的离子沉淀，依次放入乙醇、丙酮溶液中超声清洗；步骤七：对步骤六所获得的介观拉伸样品进行电解抛光，通过轻微的电化学抛光清除表面划痕和飞秒激光的加工痕迹及表层损伤层；获得可进行微观拉伸的介观拉伸样品。 2.根据权利要求1所述的基于飞秒激光加工的多取向介观拉伸样品制备方法，其特征在于，步骤一中，线切割设备为金刚石线切割机，所用金刚石线直径为0.35mm。 3.根据权利要求1所述的基于飞秒激光加工的多取向介观拉伸样品制备方法，其特征在于，步骤一中，所述的样品为纳米片层镍，纳米片层镍的尺寸为1.5320mm。 4.根据权利要求1所述的一种基于飞秒激光加工的多取向介观拉伸样品制备方法，其特征在于，步骤二中，机械研磨采用#600，#800，#1200，#2000，#4000的砂纸依次研磨，减薄至50-100μm。 5.根据权利要求1所述的基于飞秒激光加工的多取向介观拉伸样品制备方法，其特征在于，步骤五具体操作如下：首先启动飞秒加工设备，待激光振荡器振荡完毕、功率稳定在设置的功率值后，打开SCA工作平台操作软件；操作步骤依次为将移动台初始化、打开相机光源、启动20倍可视相机、启动位移控制命令台；然后将工作台上的样品移至相机视野中，调节Z轴进行聚焦，直至样品表面被清晰地呈现出来；随后打开工作进程命令界面，导入带有拉伸试样尺寸和切割进程信息的文件；并在薄片表面适当位置设置加工起点，获得加工路径，同时开始激光加工。 6.根据权利要求1所述的基于飞秒激光加工的多取向介观拉伸样品制备方法，其特征在于，步骤五中，加工参数如下：能量设置为2W，频率设置为100KHz，波长设置为343nm，脉冲长度设置为1，电子衰减为40％，周次为60周。 7.根据权利要求1所述的基于飞秒激光加工的多取向介观拉伸样品制备方法，其特征在于，步骤七中，电解抛光参数为：电压为8V，电流为5.1A，电解抛光时间为15s，电解抛光溶液为HClO4:C2H5OH＝1:9溶液，溶液比例为体积比。
所属类别：	发明专利