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一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法
| 专利名称： | 一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法，所述方法如下：金刚线多线切割机切割程序自动运行结束后，关闭冷却喷洒系统；打开切割室防护门，检查蓝宝石晶棒是否完全切穿并深入玻璃垫条；设置多线切割机手动运行线速度和线网运行倍率；依据切割过程走线方向与下机时走线方向相反的规则设置多线切割机手动走线方向；设置手动抬棒速度；开启冷却喷洒系统；将切割后的蓝宝石晶棒抬升至线网之上；关闭手动走线和冷却喷洒系统，将切割后的蓝宝石衬底片依次取出并按顺序摆放到晶片盒内。该方法降低了金刚线摩擦蓝宝石衬底片平边位置所造成的机械性损伤线切痕的概率，同时，切片后续的研磨工序降低研磨去除量，节约研磨工序的加工成本和耗材成本。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 江苏吉星新材料有限公司 |
| 发明人： | 秦光临;李志强;蔡金荣 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-02-01T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-04-23T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910103218.2 |
| 公开号： | CN109664425A |
| 代理机构： | 南京经纬专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 楼高潮 |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5 |
| 申请人地址： | 212200 江苏省镇江市扬中市油坊新材料工业园区 |
| 主权项： | 1.一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1)金刚线多线切割机切割程序自动运行结束后，关闭冷却喷洒系统； 步骤2)打开切割室防护门，使用强光照射来检查蓝宝石晶棒是否完全切穿并深入玻璃垫条2～4mm； 步骤3)设置多线切割机手动运行线速度为4～5m/s，线网运行倍率6～7％； 步骤4)依据切割过程走线方向与下机时走线方向相反的规则设置多线切割机手动走线方向； 步骤5)设置手动抬棒速度为3.5～4.5m/min； 步骤6)开启冷却喷洒系统； 步骤7)点击手动走线按钮，按下手动抬棒按钮，将切割后的蓝宝石晶棒抬升至线网之上15～20mm处； 步骤8)关闭手动走线，关闭冷却喷洒系统，将切割后的蓝宝石衬底片依次取出并按顺序摆放到晶片盒内。 2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法，其特征在于，步骤1)所述金刚线多线切割机为2英寸或4英寸蓝宝石衬底产品金刚线多线切割机。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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