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原文传递一种硅片料座与料板分离装置及其分离方法

专利名称：	一种硅片料座与料板分离装置及其分离方法
摘要：	本发明提供一种硅片料座与料板分离装置及其分离方法，所述料座包括金属材料，所述料板包括树脂材料或塑料材料，所述料板被胶合在所述料座上并一体设置，所述分离装置包括一螺线管，所述螺线管内侧沿所述螺线管轴线方向设有足以容纳所述料座和所述料板的空间，工作时，所述料座和所述料板被置于所述螺线管内侧，所述螺线管产生的交变电磁场在所述料座内部产生涡流使所述料座发热，所述料座将热量传递给置于其与所述料板之间的胶层并使所述胶层软化，从而使所述料座与所述料板分离。本发明能使料座与料板之间的胶层快速软化，结构简单且易于操作，料座感应受热均匀，与料座和料板的尺寸和形状无关，适普性广，分离效果好，工作效率高。
专利类型：	发明专利
申请人：	天津市环欧半导体材料技术有限公司
发明人：	李建弘;危晨;刘晓伟;李海彬;唐昊;史丹梅
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T13:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T21:00:00+0805
申请号：	CN202010029799.2
公开号：	CN111037767A
代理机构：	天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	栾志超
分类号：	B28D7/00;B;B28;B28D;B28D7;B28D7/00
申请人地址：	300384 天津市滨海新区华苑产业区(环外)海泰东路12号
主权项：	1.一种硅片料座与料板分离装置，所述料座包括金属材料，所述料板包括树脂材料或塑料材料，所述料板被胶合在所述料座上并一体设置，其特征在于，所述分离装置包括一螺线管，所述螺线管内侧沿所述螺线管轴线方向设有足以容纳所述料座和所述料板的空间，工作时，所述料座和所述料板被置于所述螺线管内侧，所述螺线管产生的交变电磁场在所述料座内部产生涡流使所述料座发热，所述料座将热量传递给置于其与所述料板之间的胶层并使所述胶层软化，从而使所述料座与所述料板分离。 2.根据权利要求1所述的一种硅片料座与料板分离装置，其特征在于，还包括箱体，所述螺线管置于所述箱体内侧，在所述螺线管与所述箱体之间设有隔热层，在所述螺旋管远离所述隔热层一侧设有保温层，所述隔热层、所述保温层和所述螺线管均沿所述箱体长度方向设置；所述保温层内侧设有用于放置所述料座和所述料板的通道，所述通道贯穿所述箱体长度设置。 3.根据权利要求2所述的一种硅片料座与料板分离装置，其特征在于，所述隔热层、所述保温层和所述螺线管轴向长度与所述箱体长度相适配，且均大于所述料座长度。 4.根据权利要求3所述的一种硅片料座与料板分离装置，其特征在于，在所述保温层下端面靠近所述通道一侧设有若干凹槽，所述凹槽内设有辊轴；所述凹槽沿所述保温层宽度方向上并排间隔设置，所述凹槽长度不大于所述通道宽度且不小于所述通道宽度的3/4。 5.根据权利要求4所述的一种硅片料座与料板分离装置，其特征在于，所述辊轴内嵌于所述凹槽长度方向上且凸设于所述凹槽上端面，所述凹槽长度与所述凹槽长度相适配。 6.根据权利要求2-5任一项所述的一种硅片料座与料板分离装置，其特征在于，所述箱体长度方向两端设有对称设置的柜门，在任一所述柜门内侧设有用于检测所述料座端面的温度传感器，所述温度传感器朝所述通道一侧设置；所述温度传感器高度位于所述料板上段面靠近所述料板位置处。 7.根据权利要求6所述的一种硅片料座与料板分离装置，其特征在于，还包括设置在所述箱体顶部的排风机构和废气处理机构，所述排风机构一端与所述箱体连通，另一端与所述废气处理机构连通，所述废气处理机构排气口与空气连通。 8.一种硅片料座与料板分离方法，其特征在于，采用如权利要求1-7任一项所述的分离装置，包括：将所述料座和所述料板被置于所述螺线管内侧，所述螺线管产生的交变电磁场在所述料座内部产生涡流使所述料座发热，所述料座将热量传递给置于其与所述料板之间的胶层并使所述胶层软化，从而使所述料座与所述料板分离。 9.根据权利要求8所述的一种硅片料座与料板的分离方法，其特征在于，所述螺线管产生交变电磁场的功率为10-150kVA，频率为25-35KHz，所述料座被发热温度为80-100°。 10.根据权利要求8或9所述的一种硅片料座与料板的分离方法，其特征在于，还包括所述螺线管停止产生交变电磁场后，再对所述料座和所述料板进行保温，保温时间为1-2min。
所属类别：	发明专利