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一种增强拉曼效应的悬空衬底及其制备方法
| 专利名称： | 一种增强拉曼效应的悬空衬底及其制备方法 |
| 摘要： | 本发明属于检测拉曼光谱的技术领域，特别涉及一种增强拉曼效应的悬空衬底及其制备方法。所述增强拉曼效应的悬空衬底，包括纳米级厚度的悬空基片和沉积在所述悬空基片一侧的纳米级厚度的金属层，所述金属层上设置有周期性排列的通孔。本发明通过在悬空基片上镀一层纳米级厚度的金属，再利用聚焦离子束在金属层上加工周期穿孔阵列得到的衬底，方法简单，操作性强，成功率较高。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 阜阳师范大学 |
| 发明人： | 武山;冷庆;汪靖萱;张朋 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 1900-01-20T00:00:00+0805 |
| 发布日期： | 1900-01-20T15:00:00+0805 |
| 申请号： | CN201911413151.9 |
| 公开号： | CN111157509A |
| 代理机构： | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 张加宽 |
| 分类号： | G01N21/65;B81C1/00;G;B;G01;B81;G01N;B81C;G01N21;B81C1;G01N21/65;B81C1/00 |
| 申请人地址： | 236000 安徽省阜阳市颍州区清河西路100号 |
| 主权项： | 1.一种增强拉曼效应的悬空衬底，其特征在于，包括纳米级厚度的悬空基片和沉积在所述悬空基片一侧的纳米级厚度的金属层，所述金属层上设置有周期性排列的通孔。 2.根据权利要求1所述的增强拉曼效应的悬空衬底，其特征在于，所述悬空基片为氮化硅基片或氧化硅基片； 所述金属层为贵金属层。 3.根据权利要求2所述的增强拉曼效应的悬空衬底，其特征在于，所述贵金属层中的贵金属为银和/或金。 4.根据权利要求3所述的增强拉曼效应的悬空衬底，其特征在于，所述悬空基片的厚度为5～30nm；所述贵金属层的厚度为30～100nm。 5.根据权利要求1所述的增强拉曼效应的悬空衬底，其特征在于，所述通孔为圆形通孔。 6.根据权利要求5所述的增强拉曼效应的悬空衬底，其特征在于，所述圆形通孔的半径为50～100nm。 7.一种根据权利要求1～6中任意一项所述的增强拉曼效应的悬空衬底的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： (1)选择悬空基片； (2)通过离子溅射法在悬空基片的一侧沉积金属层； (3)采用聚焦离子束技术在金属层的一侧上加工出周期性排列的通孔。 8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，在步骤(2)中，所述贵金属层的厚度为30～100nm。 9.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，在步骤(3)中，所述聚焦离子束技术是以镓离子作为离子源，利用电透镜将镓离子束聚焦成非常小的离子束对样品表面进行轰击。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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