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原文传递光栅波导多微流道检测系统

专利名称：	光栅波导多微流道检测系统
摘要：	本发明提供一种光栅波导多微流道检测系统，包括微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；所述微流体芯片包括微流体组，所述微流体组包括第一数量的微流体；所述微流体包括光栅波导组和微流道，所述光栅波导组包括第二数量的光栅波导，所述光栅波导包括出射光栅，所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。
专利类型：	发明专利
申请人：	上海新微技术研发中心有限公司
发明人：	陈昌;刘博;王靖
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T17:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T19:00:00+0805
申请号：	CN202010053375.X
公开号：	CN111175265A
代理机构：	苏州国卓知识产权代理有限公司
代理人：	黄少波
分类号：	G01N21/64;G01N21/31;G01N21/01;B01L3/00;G;B;G01;B01;G01N;B01L;G01N21;B01L3;G01N21/64;G01N21/31;G01N21/01;B01L3/00
申请人地址：	201800 上海市嘉定区城北路235号1号楼
主权项：	1.一种光栅波导多微流道检测系统，包括：微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；其特征在于，所述微流体芯片包括微流体组，所述微流体组包括第一数量的微流体；所述微流体包括光栅波导组和微流道，所述光栅波导组包括第二数量的光栅波导，所述光栅波导包括出射光栅，所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内，所述显微镜用于收集所述微流道内的光信号并向所述测量装置传输所述光信号，所述测量装置用以处理所述光信号并产生待分析信号并向所述分析装置传输所述待分析信号，所述分析装置分析所述待分析信号形成光谱；所述微流体芯片还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层、保护层、上包层和流道盖板，所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光栅波导组；所述保护层是二氧化硅材料，用以覆盖所述光栅波导组并保护所述出射光栅；所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层；所述流道盖板覆盖所述微流道上开口，所述微流道盖板包括用以向所述微流道注入含待检测生物分子溶液的注液口；所述下包层是厚度为2～3μm的二氧化硅，所述上包层是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，所述微流道宽度为10-100μm。 2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述光栅波导组包括第二数量相互平行的所述光栅波导，以将光导入所述微流道，所述光栅波导的宽度为300-600nm。 3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述波导层的折射率为1.75-2.2。 4.根据权利要求2～4所述的系统，其特征在于，所述波导层厚度为 150nm-1000nm。 5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括导光结构，所属导光结构与所述光栅波导组光连接。 6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述导光结构包括分光结构。 7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述分光结构用以从第二数量的第一导光中向上引出第二数量的第一导光。 8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述光栅波导是耦合光栅波导；所述耦合光栅波导还包括入射光栅，将所述上包层上方的光导入所述耦合光栅波导直至沿垂直方向向上导入所述微流道；所述保护层覆盖并保护所述入射光栅，所述波导层厚度为150nm-1000nm，所述耦合光栅波导的宽度为300-600nm。 9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述衬底是硅衬底。 10.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述波导层的折射率为1.75-2.2。
所属类别：	发明专利