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原文传递光栅波导微流体检测系统

专利名称：	光栅波导微流体检测系统
摘要：	本发明提供一种光栅波导微流体检测系统，包括微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；微流体芯片包括：光栅波导和微流道，光栅波导包括出射光栅，出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内；还包括：由下而上设置的下包层、波导层、保护层、上包层和流道盖板；保护层用以覆盖并保护出射光栅；微流道贯穿上包层以暴露出保护层。具有有益效果：在柔性基底上沉积光学性能可调的氮化硅薄膜，扩展SiN光学器件材料的应用范围和形式，将传统光学系统通过集成光学或片上光学器件来实现，把传统台式大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低成本。
专利类型：	发明专利
申请人：	上海新微技术研发中心有限公司
发明人：	陈昌;刘博;王靖
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T17:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T15:00:00+0805
申请号：	CN202010055222.9
公开号：	CN111157733A
代理机构：	苏州国卓知识产权代理有限公司
代理人：	黄少波
分类号：	G01N33/574;G01N21/64;G01N21/25;B01L3/00;G;B;G01;B01;G01N;B01L;G01N33;G01N21;B01L3;G01N33/574;G01N21/64;G01N21/25;B01L3/00
申请人地址：	201800 上海市嘉定区城北路235号1号楼
主权项：	1.一种光栅波导微流体检测系统，包括：微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；其特征在于，所述微流体芯片包括：光栅波导和微流道，所述光栅波导包括出射光栅，所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内，所述显微镜用于收集所述微流道内的光信号并向所述测量装置传输所述光信号，所述测量装置用以处理所述光信号并产生待分析信号并向所述分析装置传输所述待分析信号，所述分析装置分析所述待分析信号形成光谱；所述微流体芯片还包括：依次由下而上设置的下包层、波导层、保护层、上包层和流道盖板，所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光栅波导；所述保护层是二氧化硅材料，用以覆盖所述光栅波导并保护所述出射光栅；所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层；所述流道盖板覆盖所述微流道上开口，所述微流道盖板包括用以向所述微流道注入含待检测生物分子溶液的注液口；所述下包层是厚度为15～30μm高分子聚合材料，所述上包层是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，所述微流道宽度为10-100μm。 2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，若干个所述光栅波导相互平行，以将光导入所述微流道，所述光栅波导的宽度为300-600nm。 3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述波导层的折射率为1.75-2.2。 4.根据权利要求2～3所述的系统，其特征在于，所述波导层厚度为 150nm-1000nm。 5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括氮化硅材料的入射光栅，以与所述光栅波导形成耦合光栅波导，将所述上包层上方的光导入所述光栅波导直至沿垂直方向向上导入所述微流道；所述保护层覆盖并保护所述入射光栅。 6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，包括若干个相互平行的所述耦合光栅波导。 7.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述波导层厚度为150nm-1000nm，所述耦合光栅波导的宽度为300-600nm。 8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括光纤，所述光纤与所述光栅波导光连接。 9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述高分子聚合材料是SU-8树脂、聚酰亚胺、聚二甲基硅烷、聚乙烯或苯丙环丁烯。
所属类别：	发明专利