详情

原文传递链式晶圆清洗干燥用链式提升装置

专利名称：	链式晶圆清洗干燥用链式提升装置
摘要：	本发明公开了一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，传动链条依次绕接在四个链轮上，四个链轮呈梯形分布，传动链条上间隔铰接有多个清洗夹具，清洗夹具用于夹持晶圆，翻转导轨用于将清洗夹具从竖直状态翻转为水平状态以及将清洗夹具从水平状态翻转为竖直状态；本发明能够实现晶圆清洗干燥处理的连续式生产，大大提高晶圆清洗干燥的生产效率，满足工业化生产要求。
专利类型：	发明专利
申请人：	荆门微田智能科技有限公司
发明人：	曹七芳
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T00:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T17:00:00+0805
申请号：	CN201911345832.6
公开号：	CN111017487A
分类号：	B65G23/06;B65G17/16;B65G17/48;B65G23/22;B65G23/30;B65G17/32;B08B3/04;B08B13/00;B;B65;B08;B65G;B08B;B65G23;B65G17;B08B3;B08B13;B65G23/06;B65G17/16;B65G17/48;B65G23/22;B65G23/30;B65G17/32;B08B3/04;B08B13/00
申请人地址：	448000 湖北省荆门市东宝区月亮湖北路114-026号办公室
主权项：	1.一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，其特征在于，其特征在于，其特征在于，所述链式提升装置（3）包括传动链条（31）、用于承载传动链条（31）的链条导向轨道（32）、转动设置于机架（1）上的四个链轮（33）、用于驱动传动链条（31）转动的第一驱动件（34）以及设于链式提升装置（3）上端的翻转导轨（35），所述传动链条（31）依次绕接在四个链轮（33）上，四个所述链轮（33）呈梯形分布，传动链条（31）上间隔铰接有多个清洗夹具（36），所述清洗夹具（36）用于夹持晶圆，所述翻转导轨（35）用于将清洗夹具（36）从竖直状态翻转为水平状态以及将清洗夹具（36）从水平状态翻转为竖直状态。 2.根据权利要求2所述的一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，其特征在于，所述清洗夹具（36）包括悬挂板（361）、连接臂（362）、翻转接触滚轮（363）、进气块（364）以及呈环状的夹具框体（365），所述悬挂板（361）轴接在传动链条（31）上，所述连接臂（362）的一端铰接在悬挂板（361）上，所述连接臂（362）的另一端连接进气块（364），所述夹具框体（365）固定连接在进气块（364）上，所述夹具框体（365）上间隔设有用于承载晶圆的滑动托块（366）和用于夹持住滑动托块（366）上的晶圆的卡紧柱塞（367），所述滑动托块（366）与卡紧柱塞（367）之间间隔设置，所述夹具框体（365）内设有用于驱动滑动托块（366）伸出或收回的第一圆环气道以及用于驱动卡紧柱塞（367）伸出或收回的第二圆环气道，所述第一圆环气道与第二圆环气道同心设置，所述进气块（364）设有分别与第一圆环气道和第二圆环气道连通的进气孔，所述翻转接触滚轮（363）用于与翻转导轨（35）配合使清洗夹具（36）从竖直状态翻转为水平状态或从水平状态翻转为竖直状态；所述翻转导轨（35）包括一体成型的第一折弯段、水平段和第二折弯段，所述第一折弯段的一端与水平段的一端连接，所述第二折弯段的一端与水平段的另一端连接，所述第一折弯段的另一端固定在链条导向轨道（32）上，所述第二折弯段固定在链条导向轨道（32）上，所述水平段通过一个导轨支架连接在链条导向轨道（32）。 3.根据权利要求2所述的一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，其特征在于，所述滑动托块（366）的数量为四个，所述卡紧柱塞（367）的数量为四个，四个所述滑动托块（366）呈十字形分布，四个所述卡紧柱塞（367）呈十字形分布，所述第二圆环气道的数量为两个，两个所述第二圆环气道同心设置，其中一个所述第二圆环气道与相对的两个卡紧柱塞（367）连通，另一个所述第二圆环气道与另一相对的两个卡紧柱塞（367）连通。 4.根据权利要求2所述的一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，其特征在于，所述传动链条（31）包括多个链节，相邻两个所述链节之间通过链板依次铰接在一起，所述悬挂板（361）通过悬挂轴连接在链板上。 5.根据权利要求1所述的一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，其特征在于，还包括机架（1）以及设于机架（1）上的清洗槽（2）所述清洗槽（2）相对的两内侧壁上分别设有喷气组件（4），所述喷气组件（4）用于对经过清洗槽（2）清洗后的晶圆进行干燥处理；所述喷气组件（4）包括一端封闭的内喷管（41）、一端封闭的外喷管（42）以及用于驱动内喷管（41）转动的第二驱动件（43），所述外喷管（42）固定在清洗槽（2）上，所述内喷管（41）的开口端活动插入外喷管（42）内，所述内喷管（41）的封闭端与第一驱动件（34）连接，所述内喷管（41）的封闭端的外壁与外喷管（42）的开口端的内壁密封配合，所述第二驱动件（43）固定在外喷管（42）的开口端上，所述外喷管（42）的封闭端设有用于与内喷管（41）内连通的进气嘴（421），所述外喷管（42）的外壁沿其长度方向设有外喷射口（422），所述内喷管（41）的外壁上间隔设有多排内喷射口（411），每排所述内喷射口（411）的形状和口径不同。
所属类别：	发明专利