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原文传递基于Parylene-C的癌症标志物蛋白生物传感器及相关方法

专利名称：	基于Parylene-C的癌症标志物蛋白生物传感器及相关方法
摘要：	一种太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器的制备方法，包括以下步骤：步骤1、在硅衬底上生长派瑞林C型薄膜作为柔性衬底；步骤2、将步骤1得到的产品清洗干净，在其上旋涂光刻胶并烘干；步骤3、用设计好的超材料掩模版对光刻胶进行曝光，并显影，得到光刻胶掩模；步骤4、用热蒸发方法在步骤3得到的产品上生长黏附层和金膜；步骤5、将步骤4得到的产品放入丙酮浸泡剥离，形成所需要的超材料金结构；步骤6、在去离子水中分离柔性衬底和硅衬底。本发明由于采用低折射率的超薄衬底，提高了灵敏度，减少了信号损失。并且从修饰方法上利用了Parylene‑C膜的吸附能力简化了修饰测试流程，减少测试数据，提高了传感器灵敏度。
专利类型：	发明专利
申请人：	中国科学院半导体研究所
发明人：	耿照新;方维豪;陈弘达
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T00:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T00:00:00+0805
申请号：	CN201911409067.X
公开号：	CN111060475A
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	吴梦圆
分类号：	G01N21/3586;C23C16/44;C23C14/16;C23C14/24;C23C14/04;C23C28/00;G;C;G01;C23;G01N;C23C;G01N21;C23C16;C23C14;C23C28;G01N21/3586;C23C16/44;C23C14/16;C23C14/24;C23C14/04;C23C28/00
申请人地址：	100083 北京市海淀区清华东路甲35号
主权项：	1.一种太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、在硅衬底上生长派瑞林C型薄膜作为柔性衬底；步骤2、将步骤1得到的产品清洗干净，在其上旋涂光刻胶并烘干；步骤3、用设计好的超材料掩模版对光刻胶进行曝光，并显影，得到光刻胶掩模；步骤4、用热蒸发方法在步骤3得到的产品上生长黏附层和金膜；步骤5、将步骤4得到的产品放入丙酮浸泡剥离，形成所需要的超材料金结构；步骤6、在去离子水中分离柔性衬底和硅衬底，制备得到所述太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器。 2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1中采用CVD生长派瑞林，生长蒸发温度为175℃，裂解温度为690℃，真空管温度为135℃，腔室气压为18百帕，派瑞林C型薄膜的厚度为8-15μm。 3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤3中选用的超材料掩膜版图形为圆形劈裂环。 4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤4中的黏附层为厚度为10nm的铬，金膜厚度为100nm。 5.一种如权利要求1～4任一项所述的制备方法制备得到的太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器。 6.一种如权利要求5所述的太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器的修饰方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、将癌症标志物蛋白抗体滴加到传感器表面孵育，使抗体物理吸附到所述派瑞林C型膜上，然后用磷酸缓冲盐溶液清洗；步骤2、将牛血清白蛋白滴加到传感器表面孵育，用于占据膜表面空位，然后用磷酸缓冲盐溶液清洗；步骤3、将癌症癌症标志物蛋白抗原滴加到传感器表面孵育，使抗原与抗体结合，然后用磷酸缓冲盐溶液清洗。 7.如权利要求6所述的修饰方法，其特征在于，所述步骤1中抗体种类根据需求选择，孵育时间为1小时，孵育温度为37℃。 8.如权利要求6所述的修饰方法，其特征在于，所述步骤2中牛血清白蛋白浓度为3％，孵育时间为1小时，孵育温度为37℃。 9.如权利要求6所述的修饰方法，其特征在于，所述步骤3中选取的抗原与步骤1选取的抗体保持一致，孵育时间为1小时，孵育温度为37℃。 10.一种如权利要求5所述的太赫兹超材料癌症蛋白传感器的测试方法，其特征在于，所述太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器采用权利要求6～9任一项所述的修饰方法进行了生物修饰，所述测试方法包括以下步骤：步骤1、将牛血清白蛋白孵育后的太赫兹生物传感器用氮气枪吹干后放置于太赫兹时域透射光谱测试系统内，测量其透射谷对应的谐振频率f0；步骤2、将癌症标志物蛋白抗原孵育后的太赫兹生物传感器用氮气枪吹干后放置于太赫兹时域透射光谱测试系统内，测量其透射谷对应的谐振频率f1；基于所述谐振频率f1与谐振频率f0之差来检测所述抗原的浓度变化。
所属类别：	发明专利