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原文传递一种硅片吸附用吸盘

专利名称：	一种硅片吸附用吸盘
摘要：	本申请涉及硅片转移的技术领域，尤其是涉及一种硅片吸附用吸盘，包括吸附部和安装部，所述吸附部上开设有若干气孔，吸盘内则开设有与气孔相通的通气槽，所述吸附部上开设有若干吸附槽，所述气孔设置在所述吸附槽的槽底上。本申请具有以下效果：通过开设吸附槽，增大了吸盘对硅片的有效吸附面积，从而使得硅片会紧密贴合在吸盘上，增强了吸盘对硅片的吸附作用，进而减小了硅片在移动过程中从吸盘上脱落的概率。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市德澳美科技有限公司
发明人：	刘国彬
专利状态：	有权
申请日期：	2020-06-30T00:00:00+0800
发布日期：	2021-02-23T00:00:00+0800
申请号：	CN202021258988.9
公开号：	CN212580956U
分类号：	B65G47/91;B;B65;B65G;B65G47;B65G47/91
申请人地址：	518000 广东省深圳市龙华区龙华街道清湖社区清湖安之龙工业园B栋201
所属类别：	实用新型