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原文传递硅片吸盘

专利名称：	硅片吸盘
摘要：	本实用新型公开了一种硅片吸盘，包括吸盘本体，所述吸盘本体上设置有若个中空部，中空部从吸盘本体的正面贯穿至反面，每个中空部中设置有一个吸嘴，吸嘴的拐角处通过挂钩弹簧连接吸盘本体，吸嘴的吸附面与挂钩弹簧摆动轨迹形成的平面垂直设置，吸盘本体的顶部设置有一个主气道，主气道连接若干个气嘴，气嘴通过气管连通吸嘴。采用该吸盘吸附硅片时，当吸盘发生抖动时，挂钩弹簧可以起到缓冲作用，减少吸嘴与吸盘的碰撞动量，从而保护硅片。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	无锡市江松科技有限公司
发明人：	董晓清;邱其伟
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201721141990.6
公开号：	CN208070807U
代理机构：	无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260
代理人：	张欢勇
分类号：	B65G47/91(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G47;B65G47/91
申请人地址：	214028 江苏省无锡市无锡新区硕放工业集中区五期C20-2号地块
主权项：	1.一种硅片吸盘，包括吸盘本体，其特征在于：所述吸盘本体上设置有若个中空部，中空部从吸盘本体的正面贯穿至反面，每个中空部中设置有一个吸嘴，吸嘴的拐角处通过挂钩弹簧连接吸盘本体，吸嘴的吸附面与挂钩弹簧摆动轨迹形成的平面垂直设置，吸盘本体的顶部设置有一个主气道，主气道连接若干个气嘴，气嘴通过气管连通吸嘴，在吸盘本体上还设置有多个条形槽，挂钩弹簧设置在条形槽中。
所属类别：	实用新型