详情

原文传递用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置

专利名称：	用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置
摘要：	本发明涉及一种用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其中，包括：光学检测设备固定模块，用于固定光学检测设备；晶圆升降承载模块，用于承载晶圆，并带动晶圆移动，且晶圆升降承载模块位于光学检测设备下方；距离检测模块，设于自动对焦装置中能够检测到晶圆与光学检测设备之间的间隔距离的位置，且距离检测模块与晶圆升降承载模块相连接。采用该自动对焦装置通过固定光学检测设备，采用晶圆升降承载模块调节晶圆位置来实现调焦，可更好地对晶圆进行拍摄，有效缩短整定时间，更令光学检测设备可更快地完成调焦，并且由于晶圆整体结构较轻，其并不会在垂直方向产生很大的惯量，从而降低对制动马达扭力的要求。
专利类型：	发明专利
申请人：	盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司;盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
发明人：	兰海燕;康时俊;沈曙光
专利状态：	有效
申请日期：	2021-12-27T00:00:00+0800
发布日期：	2022-03-11T00:00:00+0800
申请号：	CN202111611765.5
公开号：	CN114166754A
代理机构：	上海市汇业律师事务所
代理人：	王函
分类号：	G01N21/01;G01N21/95;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/01;G01N21/95
申请人地址：	315100 浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村;
主权项：	1.一种用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，包括：光学检测设备固定模块，用于固定光学检测设备；晶圆升降承载模块，用于承载晶圆，并带动所述晶圆移动，且所述晶圆升降承载模块位于所述光学检测设备下方；距离检测模块，设于所述自动对焦装置中能够检测到所述晶圆与所述光学检测设备之间的间隔距离的位置，且所述距离检测模块与所述晶圆升降承载模块相连接。 2.根据权利要求1所述的用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，所述晶圆升降承载模块包括：晶圆承载固定机构，用于承载并固定所述晶圆；至少一个升降支撑机构，设于所述晶圆承载固定机构下方，且各个所述升降支撑机构均与所述距离检测模块相连接，所述升降支撑机构用于带动所述晶圆承载固定机构升降。 3.根据权利要求2所述的用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，所述晶圆升降承载模块还包括：至少一个角度调节机构，所述角度调节机构的数量与所述升降支撑机构的数量相匹配，各个所述升降支撑机构分别通过对应的角度调节机构与所述晶圆承载固定机构相连接。 4.根据权利要求3所述的用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，所述角度调节机构由万向接头构成。 5.根据权利要求2所述的用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，所述升降支撑机构包括导向组件、连接组件及升降驱动组件；所述晶圆承载固定机构通过所述连接组件与所述导向组件相连接，所述升降驱动组件带动所述连接组件在所述导向组件上上下移动，所述升降驱动组件与所述距离检测模块相连接。 6.根据权利要求5所述的用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，所述导向组件包括滑块和滑轨；所述升降驱动组件包括电机；所述连接组件固定于所述滑块上，所述电机带动所述滑块沿所述滑轨上下移动。 7.根据权利要求5所述的用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，所述连接组件通过角度调节机构与所述晶圆承载固定机构相连接。 8.根据权利要求2所述的用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，所述晶圆升降承载模块包括三个升降支撑机构，三个所述升降支撑机构均匀分布于所述晶圆承载固定机构的外缘。 9.根据权利要求1所述的用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，所述距离检测模块由位移计构成，所述位移计设于所述光学检测设备固定模块中能够检测到所述晶圆与所述光学检测设备之间的间隔距离的位置。 10.根据权利要求1所述的用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，所述自动对焦装置还包括平移模块，所述平移模块固定于所述晶圆升降承载模块下方。
所属类别：	发明专利