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原文传递一种真空专用型电动顶升机构

专利名称：	一种真空专用型电动顶升机构
摘要：	本发明公开了一种真空专用型电动顶升机构，包括底座、动力机构、联轴器、丝杠、丝杠螺母、导架、导向轴、升降固定板，导架连接有一端开口的顶升轴，升降固定板和顶升轴之间的空间连接有顶升轴导套，升降固定板和导架之间连接有焊接波纹管；顶升轴的开口向下，并将丝杠包裹在内腔中；顶升轴导套的内壁设有若干环状分布导气槽，顶升轴导套的内壁还镶嵌有石墨；焊接波纹管将顶升轴包裹在内腔中。本发明实现了顶升轴在真空环境下的动态密封以及润滑，不会出现传统油润滑下的挥发污染问题。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京中科科美科技股份有限公司
发明人：	李鹏
专利状态：	有效
申请日期：	2022-08-12T00:00:00+0800
发布日期：	2022-12-09T00:00:00+0800
申请号：	CN202210965100.2
公开号：	CN115448210A
代理机构：	北京市浩东律师事务所
代理人：	孙莉
分类号：	B66F7/14;B66F7/28;B;B66;B66F;B66F7;B66F7/14;B66F7/28
申请人地址：	102200 北京市海淀区中关村北二条13号
主权项：	1.一种真空专用型电动顶升机构，包括底座(13)，所述底座(13)的下表面连接有输出端向上的动力机构，所述动力机构通过联轴器(8)连接丝杠(5)，所述丝杠(5)螺纹连接丝杠螺母(7)，所述丝杠螺母(7)固定连接导架(10)，所述导架(10)插接有导向轴(6)，所述导向轴(6)的下端与底座(13)连接，上端连接有升降固定板(3)，其特征在于：所述导架(10)连接有一端开口的顶升轴(1)，所述顶升轴(1)向上穿过升降固定板(3)连接负载，所述升降固定板(3)和顶升轴(1)之间的空间连接有顶升轴导套(2)，所述升降固定板(3)和导架(10)之间连接有焊接波纹管(4)，所述焊接波纹管(4)的两端通过胶圈完成与升降固定板(3)和导架(10)的密封，所述顶升轴(1)底部与导架(10)之间同样通过胶圈密封；所述顶升轴(1)的开口向下，并将丝杠(5)包裹在内腔中；所述顶升轴导套(2)与升降固定板(3)固定连接，与顶升轴(1)滑动连接，所述顶升轴导套(2)的内壁设有若干环状分布导气槽，所述顶升轴导套(2)的内壁还镶嵌有石墨；所述焊接波纹管(4)将顶升轴(1)包裹在内腔中，所述焊接波纹管(4)上端与升降固定板(3)固定连接，下端与导架(10)固定连接。 2.根据权利要求1所述的一种真空专用型电动顶升机构，其特征在于：所述动力机构包括伺服电机(14)以及与伺服电机(14)输出端连接直角减速器(11)。 3.根据权利要求2所述的一种真空专用型电动顶升机构，其特征在于：所述导向轴(6)的两端通过导向轴固定座(12)与升降固定板(3)、底座(13)连接。 4.根据权利要求3所述的一种真空专用型电动顶升机构，其特征在于：所述导架(10)在对应导向轴(6)的位置连接有直线轴承(9)，所述导向轴(6)位于直线轴承(9)内部。 5.根据权利要求1所述的一种真空专用型电动顶升机构，其特征在于：所述导气槽的数量为六个。