详情

原文传递卡盘台装置

专利名称：	卡盘台装置
摘要：	本发明涉及一种对半导体条进行安装以将半导体条切割成单独的半导体封装的卡盘台装置，涉及一种将空气供给到支撑轴的外侧表面来防止在支撑轴的外侧表面凝结成露，且即使在支撑轴的外侧表面产生结露也可供给空气来将产生的结露的水分立刻去除，从而使结露的水分不从支撑轴漏出的卡盘台装置。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	韩国;KR
申请人：	韩美半导体有限公司
发明人：	林栽瑛;蔡旭晳
专利状态：	有效
申请日期：	2022-05-13T00:00:00+0800
发布日期：	2022-12-09T00:00:00+0800
申请号：	CN202210518979.6
公开号：	CN115446998A
代理机构：	北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人：	陈洪艳;臧建明
分类号：	B28D5/00;B28D5/02;B;B28;B28D;B28D5;B28D5/00;B28D5/02
申请人地址：	韩国仁川广域市西区佳佐路30便道14
主权项：	1.一种卡盘台装置，其特征在于包括：基底部件，形成有连通流路；支撑轴，结合到所述基底部件的上部，且形成有与所述基底部件的所述连通流路连通的气压流路；旋转单元，以能够旋转的方式设置在所述支撑轴的上部；吸附台，结合到所述旋转单元的上部，且通过与所述气压流路连通的多个吸附孔吸附半导体材料；旋转驱动单元，配置在所述支撑轴的外侧以使所述旋转单元旋转；气压产生源，通过所述连通流路提供气压，所述基底部件具有空气供给部，所述空气供给部配备有与所述支撑轴和所述旋转驱动单元的间隙连通的供给流路，且通过所述供给流路向所述间隙供给空气。 2.根据权利要求1所述的卡盘台装置，其特征在于，所述基底部件配备有排出流路，所述排出流路将从所述空气供给部通过所述供给流路供给到所述支撑轴与所述旋转驱动单元的间隙的空气排出。 3.根据权利要求1所述的卡盘台装置，其特征在于，所述供给流路包括第一倾斜部，所述第一倾斜部与所述供给流路的一端连接且向所述支撑轴侧倾斜地配备，以使得供给到所述间隙的空气沿所述支撑轴的外壁以螺旋形态循环。 4.根据权利要求1所述的卡盘台装置，其特征在于还包括：支撑部，安装在所述旋转驱动单元与所述基底部件之间，且供所述旋转驱动单元设置，所述旋转驱动单元为直驱电机，所述直驱电机包括固定在所述旋转单元下部的转子、以及设置在所述转子的下端且固定在所述支撑部的定子。 5.根据权利要求2所述的卡盘台装置，其特征在于，所述空气供给部或所述排出流路还包括阀，所述阀对从所述空气供给部供给的空气的供给量进行调节，或者对从所述排出流路排出的空气的排出量进行调节。 6.根据权利要求1所述的卡盘台装置，其特征在于，所述空气供给部还包括温度调节部，所述温度调节部对所述供给流路供给的空气的温度进行调节。 7.根据权利要求1所述的卡盘台装置，其特征在于，从所述空气供给部供给的空气为干式空气。 8.根据权利要求1所述的卡盘台装置，其特征在于还包括：控制部，以将从所述空气供给部供给的空气与所述气压产生源的气压信号联动的方式进行控制，所述控制部以以下方式进行控制：在从所述气压产生源向所述吸附台施加气压期间供给空气，若对所述吸附台解除气压，则中断空气供给。