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原文传递机动式天车自动化搬运轨道

专利名称：	机动式天车自动化搬运轨道
摘要：	本发明公开了一种机动式天车自动化搬运轨道，包括小批量烘烤的复数台小烤箱，小烤箱接续设置于一半导体制程设备的旁侧，每一半导体制程设备进行一项芯片的制程，而制程结束后，小批量的芯片即可送进小烤箱进行烘烤；小烤箱的一侧以复数快拆结构固定一龙门框架，复数龙门框架间以复数快拆结构组设于一天车轨道，天车轨道上设有复数天车载送芯片至各制程，而一系列流程与复数个另一系列流程间均可借由换轨装置进行连接转换，据此龙门框架与小烤箱可机动的依需求随时改变位置，并可配合快拆结构迅速拆装天车轨道，能够快速完成全新系列流程。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	印能科技股份有限公司
发明人：	洪誌宏
专利状态：	有效
申请日期：	2023-03-15T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-21T00:00:00+0800
申请号：	CN202310249424.0
公开号：	CN117088052A
代理机构：	北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
代理人：	孙皓晨
分类号：	B65G35/00;H01L21/677;H01L21/67;B;H;B65;H01;B65G;H01L;B65G35;H01L21;B65G35/00;H01L21/677;H01L21/67
申请人地址：	中国台湾苗栗县
主权项：	1.一种机动式天车自动化搬运轨道，其特征在于，包括：小批量烘烤的复数台小烤箱，当小批量的芯片加工完成后，即送进所述小烤箱进行烘烤；其特征在于：所述小烤箱的一侧固定一龙门框架，所有所述龙门框架间以复数快拆结构组设于一天车轨道，所述天车轨道上移动设置复数天车，借由所述天车载送所述芯片至各制程。 2.如权利要求1所述的机动式天车自动化搬运轨道，其特征在于，所述小烤箱接续设置于一半导体制程设备的旁侧，每一所述半导体制程设备进行一项所述芯片的制程。 3.如权利要求1所述的机动式天车自动化搬运轨道，其特征在于，所述天车轨道连接成一个或多个芯片制作流水线。 4.如权利要求1所述的机动式天车自动化搬运轨道，其特征在于，所述天车轨道连接成一个或多个芯片制程循环，所述芯片制程循环间借由一个以上的换轨装置转换所述天车的动作路径，使得所述天车移到所述天车轨道或一制程间连接轨道上。 5.如权利要求4所述的机动式天车自动化搬运轨道，其特征在于，所述一个或多个芯片制程循环更搭配与所述小烤箱结合的所述龙门框架，使用一个以上的落地型龙门框架。 6.如权利要求1所述的机动式天车自动化搬运轨道，其特征在于，所述快拆结构包含设有一定位套筒、一定位套筒孔、一螺丝及一螺帽，所述定位套筒上设一贯通孔，所述贯通孔供所述螺丝的一端穿过，所述螺丝的一端锁于所述螺帽而固定。 7.如权利要求6所述的机动式天车自动化搬运轨道，其特征在于，所述龙门框架包含复数杆体，其一所述杆体上设有所述定位套筒孔，将所述定位套筒置入所述定位套筒孔，而另一所述杆体上埋入所述螺帽，再借由所述螺丝一端穿过所述贯通孔及所述定位套筒孔而锁紧于所述螺帽，进而得以固定两所述杆体。 8.如权利要求2所述的机动式天车自动化搬运轨道，其特征在于，所述半导体制程设备是一芯片机或一点胶机。