原文传递
一种基于偏振光技术的表面检测缺陷系统
| 专利名称： | 一种基于偏振光技术的表面检测缺陷系统 |
| 摘要： | 本发明公开的一种基于偏振光技术的表面检测缺陷系统，包括待测样品以及设置在待测样品上方的光源件与至少一个取像组件；待测样品水平设置，光源件与待测样品中垂线之间的角度为第一角度，取像组件与待测样品中垂线之间的角度为第二角度；取像组件与待测样品之间设置有偏振机构；偏振机构的偏振方向垂直于光源件的光源入射面，偏振机构的安装面垂直于取像组件的光轴方向；取像组件用于获取样品图像，根据样品图像进行分析待测样品表面缺陷；提高缺陷检测精度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 苏州元瞰科技有限公司 |
| 发明人： | 肖继民;李勃 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2023-08-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2023-11-14T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN202311095494.1 |
| 公开号： | CN117054340A |
| 代理机构： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 陆金星 |
| 分类号： | G01N21/01;G01N21/21;G01N21/95;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/01;G01N21/21;G01N21/95 |
| 申请人地址： | 215024 江苏省苏州市工业园区葑亭大道598号2幢2楼 |
| 主权项： | 1.一种基于偏振光技术的表面检测缺陷系统，包括：待测样品以及设置在待测样品上方的光源件与至少一个取像组件；其特征在于， 所述待测样品水平设置，所述光源件与待测样品中垂线之间的角度为第一角度，所述取像组件与待测样品中垂线之间的角度为第二角度； 所述取像组件与所述待测样品之间设置有偏振机构； 所述偏振机构的偏振方向垂直于光源件的光源入射面，所述偏振机构的安装面垂直于取像组件的光轴方向； 所述取像组件用于获取样品图像，根据样品图像进行分析待测样品表面缺陷。 2.根据权利要求1所述的基于偏振光技术的表面检测缺陷系统，其特征在于，所述光源件向待测样品照射光源，并生成反射光，所述反射光穿过偏振机构并传输至取像组件。 3.根据权利要求2所述的基于偏振光技术的表面检测缺陷系统，其特征在于,所述光源件发射准直线光，所述准直线光与待测样品之间的第一角度根据待测样品的折射系数进行调整。 4.根据权利要求1所述的基于偏振光技术的表面检测缺陷系统，其特征在于，所述取像组件包括线扫相机与线扫镜头，所述线扫镜头设置在所述线扫相机的一端。 5.根据权利要求4所述的基于偏振光技术的表面检测缺陷系统，其特征在于，所述偏振机构为线偏振片。 6.根据权利要求5所述的基于偏振光技术的表面检测缺陷系统，其特征在于，所述线偏振片用于将反射光相同偏振角度的偏振光拦截。 7.根据权利要求6所述的基于偏振光技术的表面检测缺陷系统，其特征在于，所述偏振角度计算公式如下： 其中ε表示反射光的偏振角度；γ表示入射光的偏振角度，i表示光源件的入射角度；n表示待测样品折射率。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
