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原文传递一种氮化硅陶瓷基板切割装置

专利名称：	一种氮化硅陶瓷基板切割装置
摘要：	本实用新型属于氮化硅陶瓷基板加工技术领域，具体涉及一种氮化硅陶瓷基板切割装置，包括基座、升降机构、平移机构和切割头，所述升降机构安装在基座上，且升降机构的输出端朝向基座设置，所述平移机构安装在升降机构的输出端上，所述切割头安装在平移机构的驱动端上，所述切割头上设有第一吸尘组件。本实用新型一种氮化硅陶瓷基板切割装置，在进行切割时，将氮化硅陶瓷基板放置在基座，启动切割头并通过升降机构和平移机构驱动切割头移动沿着移动槽进行切割，且在切割的同时第二吸尘组件跟随切割头在移动槽内移动继续吸收氮化硅陶瓷基板下面的粉尘，而第一吸尘组件跟随切割头移动吸收氮化硅陶瓷基板上面的粉尘，实现清理切割后的粉尘。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	福建;35
申请人：	福建华清电子材料科技有限公司
发明人：	施纯锡;冯家伟
专利状态：	有效
申请日期：	2023-10-09T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-14T00:00:00+0800
申请号：	CN202322699889.4
公开号：	CN220008364U
代理机构：	泉州协创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	王伟强
分类号：	B28D1/22;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04;B;B28;B28D;B28D1;B28D7;B28D1/22;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04
申请人地址：	362200 福建省泉州市晋江市经济开发区(五里园)灵石路2号
主权项：	1.一种氮化硅陶瓷基板切割装置，其特征在于：包括基座、升降机构、平移机构和切割头，所述升降机构安装在基座上，且升降机构的输出端朝向基座设置，所述平移机构安装在升降机构的输出端上，所述切割头安装在平移机构的驱动端上，所述切割头上设有第一吸尘组件，所述基座沿着平移机构的驱动方向设有移动槽，所述移动槽内设有第二吸尘组件，所述第一吸尘组件与第二吸尘组件之间设有容纳氮化硅陶瓷基板的间隙。 2.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷基板切割装置，其特征在于：所述第一吸尘组件包括滑动管、吸入器和储存箱，所述滑动管滑动套设在切割头的切割端上，所述切割头上设有与滑动管连接的弹簧件，所述储存箱安装在切割头的一侧设置，所述吸入器安装在储存箱内，并且吸入器的输入端与滑动管连通管设置。 3.根据权利要求2所述的一种氮化硅陶瓷基板切割装置，其特征在于：所述滑动管与氮化硅陶瓷基板接触的管口边缘设有刷毛。 4.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷基板切割装置，其特征在于：所述第二吸尘组件包括移动器、吸入管、吸尘机和收集箱，所述移动器驱动安装在移动槽内，所述吸入管安装在移动器上，所述吸尘机和收集箱均安装在基座内，所述吸尘机的输入端设有与吸入管连通的软管，所述吸尘机的输出端与收集箱连通设置。 5.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷基板切割装置，其特征在于：所述升降机构包括支撑架和升降气缸，所述支撑架固定安装在基座上，所述升降气缸安装在支撑架上。 6.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷基板切割装置，其特征在于：所述基座上安装有固定氮化硅陶瓷基板的固定件。
所属类别：	实用新型