详情

原文传递图像异常原因的确定方法及装置

专利名称：	图像异常原因的确定方法及装置
摘要：	本申请提供一种图像异常原因的确定方法及装置，涉及半导体技术领域，该方法包括：在扫描电镜图像异常、且腔室内处于真空状态的情况下，打开所述激光脉冲发生器以向所述腔室内发射激光信号；基于所述探测器接收到的被所述腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图；根据所述第一波形图，确定所述探测器是否发生异常。由此，可以实现在线对探测器进行检测，无需将探测器单独拆解开来再进行检测，即可确定是否是探测器异常导致的图像异常，从而简化了对探测器进行异常排查的过程，方便了操作，也节省了时间，提高了图像异常原因确定的效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
发明人：	毕增帅;孟庆浪;韩春营
专利状态：	有效
申请日期：	2023-06-12T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-24T00:00:00+0800
申请号：	CN202310693006.0
公开号：	CN117110344A
代理机构：	北京汇知杰知识产权代理有限公司
代理人：	张婷婷;杨彦鸿
分类号：	G01N23/2251;G01T7/00;G;G01;G01N;G01T;G01N23;G01T7;G01N23/2251;G01T7/00
申请人地址：	100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼
主权项：	1.一种电子束检测系统，其特征在于，包括激光脉冲发生器、探测器、预放大器、及示波器；所述激光脉冲发生器用于向腔室内发射激光信号，所述腔室用于设置晶圆；所述探测器的输出端与所述预放大器的输入端连接，所述预放大器的输出端与所述示波器连接。 2.如权利要求1所述的电子束检测系统，其特征在于，还包括样品台；所述样品台设置于所述腔室内，用于放置晶圆。 3.一种图像异常原因的确定方法，其特征在于，应用于如权利要求1所述的电子束检测系统，所述方法包括：在扫描电镜图像异常、且腔室内处于真空状态的情况下，打开所述激光脉冲发生器以向所述腔室内发射激光信号；基于所述探测器接收到的被所述腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图；根据所述第一波形图，确定所述探测器是否发生异常。 4.如权利要求3所述的图像异常原因的确定方法，其特征在于，所述基于所述探测器接收到的被所述腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图，包括：在所述探测器将反射后的激光信号转换成电信号后，获取所述电信号参数；在所述预放大器对所述电信号参数进行放大处理后，得到目标电信号参数；将所述目标电信号参数在所述示波器上显示为第一波形图。 5.如权利要求3所述的图像异常原因的确定方法，其特征在于，所述根据所述第一波形图，确定所述探测器是否发生异常，包括：在所述第一波形图中任一波形的数值小于第一阈值的情况下，确定所述探测器发生异常。 6.如权利要求3所述的图像异常原因的确定方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述探测器发生异常的情况下，利用合格探测器对所述探测器进行替换。 7.如权利要求3所述的图像异常原因的确定方法，其特征在于，所述电子束检测系统还包括样品台，所述方法还包括：在所述探测器正常的情况下，关闭所述激光脉冲发生器；在所述腔室内处于真空状态下，控制所述样品台上电；基于所述探测器接收到的被所述腔室内的晶圆反射的电子信号，生成第二波形图；基于所述第二波形图，确定是否存在噪声干扰。 8.如权利要求7所述的图像异常原因的确定方法，其特征在于，所述基于所述第二波形图，确定是否存在噪声干扰，包括：在所述腔室内处于真空状态下，控制所述样品台下电；基于所述探测器接收到的被所述腔室内的晶圆反射的电子信号，生成第三波形图；基于所述第二波形图和所述第三波形图，确定是否存在噪声干扰。 9.如权利要求8所述的图像异常原因的确定方法，其特征在于，所述基于所述第二波形图和所述第三波形图，确定是否存在噪声干扰，包括：在所述第二波形图的数值大于第二阈值、所述第三波形图的数值小于第二阈值的情况下，确定异常原因为噪声。 10.一种图像异常原因的确定装置，其特征在于，所述装置包括：打开模块，用于在扫描电镜图像异常、且腔室内处于真空状态的情况下，打开所述激光脉冲发生器以向所述腔室内发射激光信号；第一生成模块，用于基于所述探测器接收到的被所述腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图；第一确定模块，用于根据所述第一波形图，确定所述探测器是否发生异常。 11.一种半导体设备，其特征在于，包括如权利要求1-2所述的电子束检测系统、如权利要求10所述的图像异常原因的确定装置及腔室。
所属类别：	发明专利