专利名称: |
一种单晶圆棒的边皮收集系统 |
摘要: |
本实用新型提供一种单晶圆棒的边皮收集系统,其包括:夹紧块,设于边皮长度方向的两端,以夹紧或放松边皮;收集盒,设于边皮的底部,以承接边皮;方向监控器,设于上下料机器人上,以获取所述收集盒中边皮的方向信息;吸附组件,设于所述上下料机器人上,以吸附所述收集盒中的边皮;第一控制器,与晶棒切割系统连接,以接收边皮切割信号并产生第一控制信号,所述第一控制信号控制所述夹紧块的工作状态;第二控制器,与所述方向监控器连接,以接收所述方向信息并产生第二控制信号,所述第二控制信号控制所述吸附组件的工作状态。本实用新型实现了边皮的机械自动化吸附,提高边皮拾捡效率,并降低工人的工作强度,且生产安全系数高。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
内蒙古;15 |
申请人: |
内蒙古中环晶体材料有限公司 |
发明人: |
王猛;梁志慧;贡艺强;王晓鹏;石岩 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2023-04-24T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2023-11-10T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN202320944998.5 |
公开号: |
CN219988104U |
代理机构: |
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) |
代理人: |
栾志超 |
分类号: |
B28D5/04;B28D7/00;B;B28;B28D;B28D5;B28D7;B28D5/04;B28D7/00 |
申请人地址: |
010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区阿木尔南街19号 |
主权项: |
1.一种单晶圆棒的边皮收集系统,其特征在于,包括: 夹紧块,设于边皮长度方向的两端,用于夹紧或放松边皮; 收集盒,设于边皮的底部,用于承接边皮; 方向监控器,设于上下料机器人上,用于获取所述收集盒中边皮的方向信息; 吸附组件,设于所述上下料机器人上,用于吸附所述收集盒中的边皮; 第一控制器,与晶棒切割系统连接,用以接收边皮切割信号并产生第一控制信号,所述第一控制信号控制所述夹紧块的工作状态; 第二控制器,与所述方向监控器连接,用以接收所述方向信息并产生第二控制信号,所述第二控制信号控制所述吸附组件的工作状态。 2.根据权利要求1所述的一种单晶圆棒的边皮收集系统,其特征在于,所述夹紧块包括顶部夹紧块和底部夹紧块,所述第一控制信号控制所述顶部夹紧块先于所述底部夹紧块放松。 3.根据权利要求2所述的一种单晶圆棒的边皮收集系统,其特征在于,所述吸附组件包括气动伸缩杆和吸盘,所述气动伸缩杆与所述第二控制器信号连接,所述吸盘设于所述气动伸缩杆的输出端,所述气动伸缩杆的另一端连接所述上下料机器人。 4.根据权利要求3所述的一种单晶圆棒的边皮收集系统,其特征在于,所述方向监控器为照相机,所述照相机的图像采集方向竖直向下。 5.根据权利要求4所述的一种单晶圆棒的边皮收集系统,其特征在于,所述第二控制器包括图像处理模块,所述图像处理模块用于分析所述照相机采集的图像并产生所述第二控制信号。 6.根据权利要求5所述的一种单晶圆棒的边皮收集系统,其特征在于,所述第二控制信号包括采集信号和停滞信号,所述采集信号控制所述气动伸缩杆动作,所述停滞信号控制所述气动伸缩杆静止。 |
所属类别: |
实用新型 |