详情

原文传递获取理论光谱的方法以及测量光谱异常的判断方法

专利名称：	获取理论光谱的方法以及测量光谱异常的判断方法
摘要：	本发明提供了一种获取理论光谱的方法以及测量光谱异常的判断方法，所述获取理论光谱的方法包括步骤：在M个不同偏振角条件下，基于光谱反射率仪分别采集待测样品的测量光谱，得到M条测量光谱；其中，所述待测样品为周期性结构样品，M为大于等于3的正整数；对所述M条测量光谱进行线性组合处理，得到目标偏振角条件下的理论光谱，其中，所述线性组合处理包括：获取任意2条测量光谱的线性组合，得到第一线性组合；和/或，获取至少3条测量光谱的线性组合，得到第二线性组合；本发明实现对于结构不确定或者未知的周期性结构的待测样品，能够得到目标偏振角条件下的理论光谱，也能够判断光谱反射率仪获得的目标偏振角条件下测量光谱是否异常。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海精测半导体技术有限公司
发明人：	张晓雷;张厚道;施耀明
专利状态：	有效
申请日期：	2023-07-28T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-17T00:00:00+0800
申请号：	CN202310946130.3
公开号：	CN117074316A
代理机构：	上海隆天律师事务所
代理人：	钟宗
分类号：	G01N21/21;G01N21/31;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/21;G01N21/31
申请人地址：	201702 上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层
主权项：	1.一种获取理论光谱的方法，其特征在于，包括以下步骤： S110，在M个不同偏振角条件下，基于光谱反射率仪分别采集待测样品的测量光谱，得到M条测量光谱；其中，所述待测样品为周期性结构样品，M为大于等于3的正整数； S120，对所述M条测量光谱进行线性组合处理，得到目标偏振角条件下的理论光谱，其中，所述线性组合处理包括：获取任意2条测量光谱的线性组合，得到第一线性组合；和/或，获取至少3条测量光谱的线性组合，得到第二线性组合。 2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤S120包括：获取至少2组第一线性组合；且任意2组所述第一线性组合对应的4条测量光谱至多有一条测量光谱相同。 3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，步骤S120包括：根据严格耦合波分析算法获取零级反射率表达式；以及分别获取每组所述第一线性组合对应的零级反射率表达式的线性组合；所述分别获取每组所述第一线性组合对应的零级反射率表达式的线性组合，包括：获取所述任意2条测量光谱各自对应的第一偏振角和第二偏振角；基于所述零级反射率表达式，得到所述第一偏振角条件下的第一零级反射率表达式和第二偏振角条件下的第二零级反射率表达式；以及对所述第一零级反射率表达式和所述第二零级反射率表达式进行线性组合，得到所述零级反射率表达式的线性组合。 4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，步骤120包括：分别获取每组所述第一线性组合对应的基于偏振角的线性组合；所述分别获取每组所述第一线性组合对应的基于偏振角的线性组合，包括：获取所述任意2条测量光谱各自对应的第一偏振角和第二偏振角；获取第三线性组合，所述第三线性组合为2倍所述第一偏振角和2倍所述第二偏振角各自对应的余弦值的线性组合；获取第四线性组合，所述第四线性组合为2倍所述第一偏振角和2倍所述第二偏振角各自对应的正弦值的线性组合；基于所述第三线性组合和所述第四线性组合，得到所述基于偏振角的线性组合。 5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤S120还包括：基于所述至少2组第一线性组合、与所述至少2组第一线性组合各自对应的所述零级反射率表达式的线性组合，得到至少2组第零关系式；基于所述至少2组第零关系式，计算得到所述零级反射率表达式的线性组合中的线性系数；基于所述线性系数和任意一条测量光谱，得到所述目标偏振角条件下的理论光谱。 6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，步骤S120还包括：基于所述至少2组第一线性组合、与所述至少2组第一线性组合各自对应的所述基于偏振角的线性组合，得到至少2组第零关系式；基于所述至少2组第零关系式，计算得到所述基于偏振角的线性组合中的线性系数；基于所述线性系数和任意一条测量光谱，得到所述目标偏振角条件下的理论光谱。 7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤S120包括：基于所述第二线性组合，得到所述目标偏振角条件下的理论光谱；其中，所述第二线性组合中所有测量光谱的系数之和为1。 8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，步骤S120包括：获取所述第二线性组合中所有测量光谱各自对应的偏振角；其中，所有所述测量光谱各自对应的偏振角的2倍角度的单位向量的X轴投影的线性组合与以所述目标偏振角的2倍角度的单位向量的X轴投影相同；所有所述测量光谱各自对应的偏振角的2倍角度的单位向量的Y轴投影的线性组合与以所述目标偏振角的2倍角度的单位向量的Y轴投影相同。 9.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述零级反射率表达式为其中，ax、ay、bx、by是系数，A为任意偏振角。 10.如权利要求5或6所述的方法，其特征在于，所述第零关系式为tiS0(Pi)+tjS0(Pj)＝c0(ti+tj)+c1(ticos2Pi+tjcos2Pj)+c2(tisin2Pi+tjsin2Pj)，其中，ti和tj是取值为复数的系数，S0(Pi)是第一偏振角Pi条件下的测量光谱，S0(Pj)是第二偏振角Pj条件下的测量光谱，c0、c1和c2均为线性系数，i和j为1到M之间的两个不同的正整数。 11.一种测量光谱异常的判断方法，其特征在于，所述判断方法包括：基于如权利要求1-10任一项所述的方法获取目标偏振角条件下的理论光谱；基于光谱反射率仪测量所述待测样品获得所述目标偏振角条件下的测量光谱；计算得到所述目标偏振角条件下的测量光谱与所述目标偏振角条件下的理论光谱之间的差异值；当所述差异值大于预设阈值时，确定所述测量光谱异常；否则确定所述测量光谱正常。
所属类别：	发明专利