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探针结构、观察样品的装置和方法
| 专利名称： | 探针结构、观察样品的装置和方法 |
| 摘要： | 一种使用带电粒子束观察样品的装置，包括配置为产生和引导离子束的离子束柱、配置为产生并引导电子束的电子束柱、用于容纳样品的真空室以及定位在真空室中的探针。探针被配置为在样品和电源之间提供电连接。本申请的实施例还公开了一种用于带电粒子束显微镜的探针结构以及观察样品中缺陷的方法。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 中国台湾;71 |
| 申请人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 发明人： | 邱玉菁;高志光;杨慧文 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2023-07-28T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2023-11-21T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN202310939566.X |
| 公开号： | CN117092146A |
| 代理机构： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 分类号： | G01N23/2251;H01J37/26;G01N23/2255;G01N23/04;G01N23/20008;G;H;G01;H01;G01N;H01J;G01N23;H01J37;G01N23/2251;H01J37/26;G01N23/2255;G01N23/04;G01N23/20008 |
| 申请人地址： | 中国台湾新竹 |
| 主权项： | 1.一种使用带电粒子束观察样品的装置，包括： 离子束柱，被配置为产生和引导离子束； 电子束柱，被配置为产生和引导电子束； 真空室，用于容纳样品；以及 探针，定位在所述真空室中，其中，所述探针被配置为在所述样品和电源之间提供电连接。 2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述离子束柱还被配置为从所述样品中离子研磨出片层，并且所述探针还被配置为从所述样本中取出所述片层。 3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述探针包括： 探针尖端； 探针尖端保持器，其中所述探针尖端保持器与所述探针尖端电连接；和 探针轴，耦接到所述探针尖端保持器。 4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述探针轴与所述探针尖端保持器电绝缘。 5.根据权利要求4所述的装置，其中，所述探针轴通过堆叠在所述探针轴和所述探针尖端保持器之间的介电环与所述探针尖端保持器电绝缘。 6.根据权利要求3所述的装置，其中，所述探针尖端包括钨，并且所述探针尖端保持器不含钨。 7.根据权利要求6所述的装置，其中，所述探针尖端保持器包括铜和金的合金。 8.根据权利要求6所述的装置，其中，所述探针轴包括不锈钢。 9.一种用于带电粒子束显微镜的探针结构，包括： 针； 针保持器，夹持所述针，其中，所述针保持器电连接到所述针； 电线，附接到所述针保持器，其中，所述电线在所述针保持器与电源之间提供电连接；以及 细长轴，耦接到所述针保持器，其中，所述细长轴通过所述针保持器将运动控制传递给所述针。 10.一种观察样品中缺陷的方法，包括： 将样品装载在载物台上； 用探针探测所述样品； 将所述探针电连接到接地线以使所述样品放电； 将所述探针电连接到电压线以偏置所述样品； 识别具有所述缺陷的区域； 对所述样品进行离子研磨以从所述样品中释放所述区域；以及 通过所述探针取出所述区域。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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