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原文传递一种高纯乙硼烷中杂质分析方法

专利名称：	一种高纯乙硼烷中杂质分析方法
摘要：	本发明涉及精细化工技术领域，更具体地说，涉及一种高纯乙硼烷中杂质分析方法，该分析方法包括以下步骤：步骤一、将待分析高纯乙硼烷气体送入中转储罐进行存储；步骤二、通过进样器对中转储罐内的待分析高纯乙硼烷气体进行定量抽取；步骤三、利用载气将进样器抽取的待分析高纯乙硼烷气体引入至色谱柱装置中，以通过色谱柱装置将待分析高纯乙硼烷气体进行筛分分离处理，筛分分离得到高纯乙硼烷和杂质气体；步骤四、将筛分分离得到杂质气体引入检测器进行检测分析处理，经检测器的检测分析得到高纯乙硼烷气体中的杂质气体含量。本发明的一种高纯乙硼烷中杂质分析方法，可对高纯乙硼烷气体中的杂质进行分离和检测，分离效率较好，检测准确性较高。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京高麦克仪器科技有限公司
发明人：	刘丽娜;丁高松
专利状态：	有效
申请日期：	2023-04-24T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-10T00:00:00+0800
申请号：	CN202310447202.X
公开号：	CN117030916A
代理机构：	北京冠和权律师事务所
代理人：	万晶晶
分类号：	G01N30/88;G;G01;G01N;G01N30;G01N30/88
申请人地址：	100000 北京市顺义区仁和镇林河南大街9号院9号楼5层583室
主权项：	1.一种高纯乙硼烷中杂质分析方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、将待分析高纯乙硼烷气体送入中转储罐进行存储；步骤二、通过进样器对中转储罐内的待分析高纯乙硼烷气体进行定量抽取；步骤三、利用载气将进样器抽取的待分析高纯乙硼烷气体引入至色谱柱装置中，以通过色谱柱装置将待分析高纯乙硼烷气体进行筛分分离处理，筛分分离得到高纯乙硼烷和杂质气体；步骤四、将筛分分离得到杂质气体引入检测器进行检测分析处理，经检测器的检测分析得到高纯乙硼烷气体中的杂质气体含量。 2.根据权利要求1所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析方法，其特征在于，所述色谱柱装置包括一个色谱柱本体或多个色谱柱本体。 3.根据权利要求2所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析方法，其特征在于，多个色谱柱本体之间通过多根第一气路管连接，以通过多个色谱柱本体对待分析高纯乙硼烷气体进行多次筛分分离处理，得到多种杂质气体；多个色谱柱本体分别通过一根第二气路管与检测器连接，以将筛分分离得到的多种杂质气体分别送入至检测器进行检测分析处理。 4.根据权利要求3所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析方法，其特征在于，所述色谱柱本体的工作温度为40℃。 5.根据权利要求3所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析方法，其特征在于，所述第一气路管、第二气路管和色谱柱本体的接口处均设有VCR接头。 6.根据权利要求3所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析方法，其特征在于，所述检测器为氦放电离子化检测器。 7.根据权利要求1所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析方法，其特征在于，所述进样器包括进样管(1)，进样管(1)一端设有密封连接在中转储罐内的抽样头(2)，进样管(1)另一端配合连接进样驱动器(3)，进样驱动器(3)传动连接旋转联动器(4)，旋转联动器(4)传动连接抽样头(2)，以传动带动抽样头(2)在中转储罐内旋转运动。 8.根据权利要求7所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析方法，其特征在于，所述进样驱动器(3)包括密封滑动在进样管(1)内的滑动塞(31)，滑动塞(31)的中心孔内密封转动外转管(32)，外转管(32)中部螺纹配合在进样管(1)上，外转管(32)上固定第一锥齿轮(33)，第一锥齿轮(33)与固定在驱动电机(34)上的第二锥齿轮(35)啮合，驱动电机(34)固定在活动架(36)上，第二锥齿轮(35)与在内转杆(37)外端的第三锥齿轮(38)啮合，内转杆(37)中部密封转动在外转管(32)内，内转杆(37)内端固定进样搅拌组件(39)，进样搅拌组件(39)转动在滑动塞(31)的收纳槽内；活动架(36)固定在齿条(5)一端，齿条(5)另一端滑动在进样管(1)的侧滑道内。 9.根据权利要求8所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析方法，其特征在于，所述旋转联动器(4)包括与齿条(5)啮合的联动齿轮(41)，联动齿轮(41)固定在联动轴(42)上，联动轴(42)转动在进样管(1)侧面上，联动轴(42)上固定主动摩擦轮(43)，主动摩擦轮(43)垂直摩擦传动连接从动摩擦轮(44)，从动摩擦轮(44)固定在旋转轴(45)一端，旋转轴(45)转动在进样管(1)侧面上，旋转轴(45)另一端固定主动带轮(46)，主动带轮(46)通过同步带传动连接固定在抽样头(2)上的从动带轮(21)。 10.根据权利要求9所述的一种高纯乙硼烷中杂质分析方法，其特征在于，所述进样搅拌组件(39)包括密封转动在滑动塞(31)收纳槽内的圆柱箱(391)，圆柱箱(391)的封闭端固定在内转杆(37)内端，圆柱箱(391)的开放端密封配合连接圆形挡盘(392)，圆形挡盘(392)上均匀环绕滑动配合多个内外滑板(393)，多个内外滑板(393)插入至圆柱箱(391)内的一端固定在滑动盘(394)上，滑动盘(394)密封滑动在圆柱箱(391)内，滑动盘(394)与圆柱箱(391)的封闭端之间固定有压缩弹簧(395)。
所属类别：	发明专利