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原文传递用于对接光学检查机的大基板搬运系统

专利名称：	用于对接光学检查机的大基板搬运系统
摘要：	本实用新型提供了一种用于对接光学检查机的大基板搬运系统，包括：上下料机、对接平台、移栽和吸盘机构以及翻转机构；所述移栽和吸盘机构包括：第二X轴移栽机构、Z轴移栽机构以及吸盘机构；所述Z轴移栽机构安装在所述第二X轴移栽机构上，所述吸盘机构安装在所述Z轴移栽机构上；所述Z轴移栽机构周侧设置所述上下料机、所述对接平台以及所述翻转机构，所述对接平台靠近所述上下料机。本申请解决了大基板在AOI检测过程中依赖人工搬运的问题，避免了大基板在搬运过程中造成的易损坏和混乱放置。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海世禹精密设备股份有限公司
发明人：	林海涛;赵凯;梁猛;卢升;万仲宇;周彪
专利状态：	有效
申请日期：	2023-05-23T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-07T00:00:00+0800
申请号：	CN202321264503.0
公开号：	CN219978119U
代理机构：	上海锻创知识产权代理有限公司
代理人：	陈少凌
分类号：	G01N21/01;G01N21/13;G01N21/88;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/01;G01N21/13;G01N21/88
申请人地址：	201615 上海市松江区九亭镇金马路76号1幢
主权项：	1.一种用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于，包括：上下料机(100)、对接平台(200)、移栽和吸盘机构(300)以及翻转机构(400)；所述移栽和吸盘机构(300)包括：第二X轴移栽机构(301)、Z轴移栽机构(302)以及吸盘机构(303)；所述Z轴移栽机构(302)安装在所述第二X轴移栽机构(301)上，所述吸盘机构(303)安装在所述Z轴移栽机构(302)上；所述移栽和吸盘机构(300)周侧设置所述上下料机(100)、所述对接平台(200)以及所述翻转机构(400)，所述对接平台(200)靠近所述上下料机(100)。 2.根据权利要求1所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于：所述对接平台(200)、所述移栽和吸盘机构(300)、所述翻转机构(400)以及传送台外侧安装机架(500)。 3.根据权利要求1所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于，所述上下料机(100)包括：基板料仓机构(101)、基板搬运机构(102)、轴向移动装置以及出料口；所述基板料仓机构(101)和所述出料口之间设置所述轴向移动装置，所述基板搬运机构(102)安装在所述轴向移动装置上并通过所述轴向移动装置在所述基板料仓机构(101)和所述出料口之间移动。 4.根据权利要求1所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于，所述对接平台(200)包括：对接平台台面、第一X轴移栽机构(201)、U轴旋转机构(202)、顶升机构(203)、夹紧机构(204)以及第一伺服电机(205)；所述U轴旋转机构(202)安装在所述第一X轴移栽机构(201)上并通过所述第一X轴移栽机构(201)实现直线移动，所述对接平台台面安装在所述U轴旋转机构(202)上并通过所述U轴旋转机构(202)旋转；所述对接平台台面上安装所述顶升机构(203)、所述夹紧机构(204)和第一伺服电机(205)。 5.根据权利要求1所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于，所述翻转机构(400)包括：基板平台、翻转机架、Z轴升降机构(401)以及翻转机构主体(404)；所述Z轴升降机构(401)和所述翻转机构主体(404)安装在所述翻转机架上，所述基板平台安装在所述Z轴升降机构(401)上。 6.根据权利要求5所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于：所述翻转机构主体(404)上安装Y轴定位机构(403)，所述基板平台上安装X轴定位机构(402)和边支撑机构(405)。 7.根据权利要求1所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于：所述Z轴移栽机构(302)周侧设置光学检查机。 8.根据权利要求4所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于：所述第一伺服电机(205)带动磁力轮转动，基板放置在所述磁力轮上并通过所述磁力轮的转动实现基板传输。 9.根据权利要求6所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于：所述Z轴升降机构(401)采用伺服电机驱动丝杠带动丝杠上的基板平台移动；所述X轴定位机构(402)由气缸带动连杆机构运动并通过所述连杆机构夹紧基板；所述Y轴定位机构(403)通过滑台气缸推动夹爪夹紧基板；所述翻转机构主体(404)两侧设置伺服电机和减速机。 10.根据权利要求6所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于：所述边支撑机构(405)设置在所述基板平台两侧朝向所述翻转机架方向，所述边支撑机构(405)设置有气缸，所述边支撑机构(405)的气缸朝向所述翻转机架实现支撑。
所属类别：	实用新型