原文传递
基板检查装置的基板支架和基板检查装置
| 专利名称： | 基板检查装置的基板支架和基板检查装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板检查装置的基板支架和基板检查装置。基板检 查装置具有保持基板(W)的基板支架(6)。在基板支架(6)中，从安 装于多关节自动装置(8)的基部(7)使多个支撑臂部(10)平行且等 间隔地延伸设置，从而整体成为梳齿状。在各支撑臂部(10)的上表面 (10a)上配设有用于吸附保持基板(W)的吸附部(12)。另外，横档 (15)分别安装于支撑臂部(10)的基端部(11a)侧和前端部(11b)侧， 在外侧的支撑臂部(10)的外侧面上安装有支撑横档(17)，通过这些横 档(15、17) |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 发明人： | 冈平裕幸 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-09-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200580032201.9 |
| 公开号： | CN101027547 |
| 代理机构： | 北京三友知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 党晓林 |
| 分类号： | G01N21/84(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
