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原文传递基板检查装置及基板检查方法

专利名称：	基板检查装置及基板检查方法
摘要：	基板检查装置及基板检查方法。本发明的课题是提供可以对被检查基板施加温度应力并缩短检查时间的基板检查装置以及基板检查方法。作为解决手段，具有：冷却保持部(22)，其具有对被检查基板(8)进行冷却的冷却盘(221)；加热保持部(24)，其具有对被检查基板(8) 进行加热的加热盘(241)；运送部(32)，其以预先设定的顺序将被检查基板(8)运送到冷却盘(221)以及加热盘(241)的载置部位；以及移动式探测器(37、38)，其检查由冷却保持部(22)冷却后的检查基板(8) 以及由加热保
专利类型：	发明专利
申请人：	日本电产理德株式会社
发明人：	绪方光;太田宪宏;天川良太
专利状态：	有效
申请日期：	2006-05-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610080248.9
公开号：	CN1920585
代理机构：	北京三友知识产权代理有限公司
代理人：	黄纶伟
分类号：	G01R31/00(2006.01)I
申请人地址：	日本京都府
所属类别：	发明专利