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原文传递检查装置和基板的定位方法

专利名称：	检查装置和基板的定位方法
摘要：	本发明提供能够以简易的结构防止基板的损伤而进行输送的检查装置及基板的定位方法。检查装置包括：输送台(20)，具有用于支承基板并以沿输送方向输送基板的方式进行旋转的自由辊(201)；驱动机构(30)，用于使基板沿输送方向移动；定位销驱动部(202)，设置于输送台的端部侧，用于保持与基板抵接的定位销(202a)并使定位销向输送方向移动；基准销驱动部(203)，设置于检查单元和定位销驱动部之间，用于保持与基板抵接的基准销(203a)并驱动基准销而使基准销升降；端面检测部(204)，用于检测基板的与输送方向平行的方向的端面；检查单元(100)，用于根据端面检测部所检测出的端面的信息来进行基板的检查。
专利类型：	发明专利
申请人：	奥林巴斯株式会社
发明人：	辻治之;木内智一
专利状态：	有效
申请日期：	2011-10-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201110332017.3
公开号：	CN102456602A
分类号：	H01L21/68(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
主权项：	一种检查装置，其特征在于，包括：输送台，其具有用于支承基板并以沿输送方向输送该基板的方式进行旋转的辊；驱动机构，其用于使上述基板沿上述输送方向移动；定位构件驱动部，其设置于上述输送台的靠上述基板的输入侧的端部侧，用于保持与上述基板抵接的定位构件并使该定位构件向上述输送方向移动；端面检测部，其用于检测上述基板的与上述输送方向平行的方向的端面；检查部，其用于根据上述端面检测部所检测出的端面的信息来进行上述基板的检查；以及基准构件驱动部，其设置于上述检查部和上述定位构件驱动部之间，用于保持与上述基板抵接的基准构
所属类别：	发明专利