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基板收纳容器和具有其的基板检查装置
| 专利名称： | 基板收纳容器和具有其的基板检查装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板收纳容器和具有其的基板检查装置。所述基板收纳容器和具有其的基板检查装置能够提高基板检查工序的生产率。本发明的基板收纳容器(M)和具有其的基板检查装置，将收纳在上下方向上层叠的多块基板(S)的盒垂直装入壳体，分别具有与检查对象基板的尺寸一致的盒。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | AJU高技术公司 |
| 发明人： | 崔铉镐;任炳铉 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-06-22T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201010207227.5 |
| 公开号： | CN101948031A |
| 代理机构： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 |
| 代理人： | 李雪春;武玉琴 |
| 分类号： | B65D85/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 韩国京畿道 |
| 主权项： | 一种基板收纳容器，其特征在于包括：盒，上部敞开，容纳在上下方向上层叠的多块基板；以及壳体，形成有多个槽构件，该槽构件垂直装载所述盒。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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