详情

原文传递基板定位装置和基板收纳单元

专利名称：	基板定位装置和基板收纳单元
摘要：	本发明提供一种在负载锁定室等收纳基板的容器内，极大地缩小基板周边的空间，进行基板定位的基板定位装置。基板定位装置具备按压与基板(S)的搬送方向垂直的一对端面(S1)的一对第一定位器 (7)；和按压沿基板(S)的搬送方向的一对端面(S2)的一对第二定位器(8)，第一和第二定位器(7、8)分别具备汽缸机构(71、81) 和通过汽缸机构(71、81)的活塞(74、84)的前进，按压端面(S1、 S2)的按压件(70、80)，第一定位器(7)还具备驱动力转换机构(72)，所述驱动力转换机构(
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	羽立良幸
专利状态：	有效
申请日期：	2006-09-05T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610128963.5
公开号：	CN1929109
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	龙淳
分类号：	H01L21/68(2006.01)I
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利