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基板保持件保持装置和基板保持件收纳室
| 专利名称： | 基板保持件保持装置和基板保持件收纳室 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板保持件保持装置，该基板保持件保持装置紧凑并且具有简单的结构。根据本发明的基板保持件保持装置设置有：第一和第二保持机构(5，7)，其被收纳在室中，并且分别被构造成能够沿着列保持多个基板保持件；列方向驱动装置，其使第一保持机构相对于第二保持机构沿列方向相对移动；移位机构(30)，其使基板保持件在第一和第二保持机构之间移位；以及连动机构，其通过移位机构和上述列方向驱动装置之间的连动来改变基板保持件在第一或第二保持机构中的在列方向上的位置。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 发明人： | 东坂隆嗣;若林秀纪 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-09-30T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200880025489.0 |
| 公开号： | CN101828259A |
| 代理机构： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
| 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本神奈川县 |
| 主权项： | 一种基板保持件保持装置，其特征在于，所述基板保持件保持装置包括：台机构，所述台机构能够保持多个基板保持件并且能在排列方向上移动；上/下机构，所述上/下机构能使所述基板保持件与所述台机构分离；以及连动机构，所述连动机构通过所述台机构和所述上/下机构之间的连动而使所述基板保持件在所述台机构上的位置移动。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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