原文传递
基板的保持装置、基板的保持方法以及夹层玻璃的制造方法
| 专利名称： | 基板的保持装置、基板的保持方法以及夹层玻璃的制造方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种利用简单的结构，可高精度确定所保持的基板的位置，充分确保基板的吸附力，能够防止基板脱落的基板的保持装置、基板的保持方法及夹层玻璃的制造方法。将基板近似水平保持，并使其上下移动的基板的保持装置(10)具有：支承体(2)；由支承体(2)支承并吸附基板的至少1个基板吸附体(1)；和在多个部位将基板吸附体(1)的外周部和支承体(2)的从基板吸附体(1)外周部沿水平方向分离的区域连接的带状弹性部件(4)；带状弹性部件(4)在与基板吸附体(1)连接的一端部和与支承体(2)连接的另一端部之间具有变位部，该变位部形成为在水平方向上宽度宽、在上下方向薄的带状，按照基板吸附体(1)相对支承体(2)在上下方向相对接近分离的方式变位且在水平方向变位。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 旭硝子株式会社 |
| 发明人： | 伊藤泰则 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-08-07T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200980130644.X |
| 公开号： | CN102112410A |
| 代理机构： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
| 代理人： | 李伟;王轶 |
| 分类号： | C03C27/12(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 主权项： | 一种基板的保持装置，用于将基板近似水平保持，并使其上下移动，其特征在于，具有：支承体；由上述支承体支承并吸附上述基板的至少1个基板吸附体；和在多个部位将上述基板吸附体的外周部、和上述支承体的与该基板吸附体外周部沿水平方向分离的区域连接的带状弹性部件；上述带状弹性部件在与上述基板吸附体连接的一端部和与上述支承体连接的另一端部之间具有变位部，该变位部形成为在水平方向上宽度宽、在上下方向薄的带状，按照上述基板吸附体相对上述支承体在上下方向相对接近分离的方式变位、且在水平方向变位。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
