专利名称: | 基板移放装置,基板移放方法,以及电光装置的制造方法 |
摘要: | 本发明涉及基板移放装置,基板移放方法,以及电光装置的制造方法。 其中,将沿着支持槽收置于基板收置壳体的玻璃基板移放于托盘中所含有 的基板收置面的基板移放装置备有:基板收置壳体放置部;托盘放置部; 保持被收置于基板收置壳体的玻璃基板而将其从基板收置壳体取出,并且 转移到旋转凹槽的凹槽的基板转移机构;在保持位置上保持被放置于凹槽 的玻璃基板,并且在放出位置上放出而将其配置于基板收置面的基板保持 机构;以及将基板保持机构从保持位置向放出位置移送的移送机构。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 精工爱普生株式会社 |
发明人: | 田坂和夫;藤岛博一 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2006-03-27T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200610067447.6 |
公开号: | CN1840448 |
代理机构: | 北京市中咨律师事务所 |
代理人: | 陈海红;段承恩 |
分类号: | B65G49/06(2006.01)I |
申请人地址: | 日本东京都 |
所属类别: | 发明专利 |