专利名称: | 基板移载装置及方法 |
摘要: | 本发明揭示一种基板移载装置,其主要包含一载台及一移载机构。该载 台具有一承载面,该移载机构具有一移载面。该载台承载自制程机台送出 的基板,利用移载机构的移载面与载台的承载面之间于垂直于该移载面的 垂直方向交错移动,该基板自该载台换载至该移载机构。一实施例中,利 用该载台与移载机构水平向相互移动,将该基板移至该移载机构上方,以 将该基板自该载台换载至该移载机构。 |
专利类型: | 发明专利 |
国家地区组织代码: | 台湾;TW |
申请人: | 友达光电股份有限公司 |
发明人: | 余圣智;刘佳欣 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2008-12-15T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200810186813.9 |
公开号: | CN101428708 |
代理机构: | 上海专利商标事务所有限公司 |
代理人: | 郭 蔚 |
分类号: | B65G49/06(2006.01)I |
申请人地址: | 台湾省新竹科学工业园区新竹市力行二路一号 |
主权项: | 1. 一种基板移载装置,包含: 一载台,具有至少一承载面,该承载面承载一基板;以及 一移载机构,具有至少一移载面,该移载面用以承载和移动该基板, 该承载面与该移载面之间于垂直于该移载面的一垂直方向交错移动,将 该基板自该载台换载至该移载机构。 |
所属类别: | 发明专利 |