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原文传递 基板移载装置
专利名称: 基板移载装置
摘要: 本发明提供一种基板移载装置,其包括承载板(1)、及设于所述承载板(1)的四周边缘的数个夹钳(2);所述承载板(1)用于放置基板;所述夹钳(2)用于固定基板;使用所述夹钳(2)固定基板时,所述夹钳(2)末端的夹持端部(223)与承载板(1)共同将基板夹住;所述承载板(1)上对应所述夹钳(2)在夹紧状态下的夹持端部(223)的下方设有凹槽(11);使得所述承载板上未放置基板时,所述夹钳在夹紧状态下的夹持端部伸入所述凹槽中,可避免夹钳与承载板之间的摩擦,从而减少因摩擦而产生的金属异物,提升产品品质。
专利类型: 发明
国家地区组织代码: 广东;44
申请人: 深圳市华星光电技术有限公司
发明人: 夏良烘;徐向阳;陈杰
专利状态: 有效
申请日期: 2016-01-26T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201610052086.1
公开号: CN105600447A
代理机构: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265
代理人: 林才桂
分类号: B65G49/06(2006.01)I
申请人地址: 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号
主权项: 一种基板移载装置,其特征在于,包括承载板(1)、及设于所述承载板(1)的四周边缘的数个夹钳(2);所述承载板(1)用于放置基板;所述夹钳(2)用于固定基板;使用所述夹钳(2)固定基板时,所述夹钳(2)末端的夹持端部(223)与承载板(1)共同将基板夹住;所述承载板(1)上对应所述夹钳(2)在夹紧状态下的夹持端部(223)的下方设有凹槽(11),从而使得所述承载板(1)上未放置基板时,所述夹钳(2)的夹持端部(223)与承载板(1)不接触而不产生摩擦。
所属类别: 发明专利
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