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基板移载装置、基板处理装置、基板移载用臂、基板移载方法
| 专利名称： | 基板移载装置、基板处理装置、基板移载用臂、基板移载方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板移载装置、基板处理装置、基板移载用臂、 基板移载方法，能够与晶片保持舟中的任意的保持板之间进行基板的 交换，并使保持板的间距比现有技术更窄。基板移载装置(300)包括： 以能够旋转和升降的方式构成的基台(310)；在基台上以能够进退的 方式设置且具有用于装载并搬送基板的搬送叉部(322)的第一臂 (320)；和在基台上以能够进退的方式设置且具有设置有能够起倒的 基板举起机构(340)的举起叉部(332)的第二臂(330)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 田村明威 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-07-23T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200780001655.9 |
| 公开号： | CN101361177 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 刘春成 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本国东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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