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基板保持机构、基板交接机构及基板处理装置
| 专利名称： | 基板保持机构、基板交接机构及基板处理装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够进行基板的可靠的保持及交接的基板保持机构。所述基板保持机构具备用于保持矩形基板(W)的基板保持部，且构成为，具备：多个基板保持辊(120)，该多个基板保持辊(120)配置在与基板(W)的对置的两边相对应的基板保持部上的位置，能够转动地轴支承于该基板保持部；辊驱动机构，该辊驱动机构驱动该基板保持辊(120)旋转，所述基板保持辊(120)具有圆筒部(121)和设于其两端面的外周局部的保持凸缘(123a、b)，通过利用所述辊驱动机构使各基板保持辊(120)转动，从而能够根据其转动角度切换由所述保持凸缘(123a、b)进行的基板(W)端缘的保持及保持解除。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社永创科技 |
| 发明人： | 石原伸一郎;芦田肇;渡边亮 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-09-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200880110294.6 |
| 公开号： | CN101815660A |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
| 代理人： | 张宝荣 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本京都府 |
| 主权项： | 一种基板保持机构，其具备用于保持矩形基板的基板保持部，所述基板保持机构的特征在于，具有：a)多个基板保持辊，该多个基板保持辊配置在基板保持部上的与基板的对置的两边相对应的位置，且能够转动地轴支承于该基板保持部；b)辊驱动机构，该辊驱动机构驱动该基板保持辊旋转，所述基板保持辊具有圆筒部和设于其两端面的外周局部的保持凸缘，通过利用所述辊驱动机构使各基板保持辊转动，能够根据其转动角度切换由所述保持凸缘进行的基板端缘的保持及保持解除。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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