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基板校准装置,基板处理装置及基板搬运装置
| 专利名称： | 基板校准装置,基板处理装置及基板搬运装置 |
| 摘要： | 本发明的基板校准装置包括：为了基本上水平地载置支承被处理 基板(G)而分散地配置在基本上水平的工作台(100)上的多个可在 水平方向上位移的支承部(152)，将载置于前述支承部上的前述被处 理基板在水平面内向规定的方向推压而进行定位的定位机构(102)。 借助这种结构，不会对被处理基板造成伤害及擦痕，不会产生污染， 可以安全并且正确、进而高效率地进行基板的对位。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 立山清久;元田公男;岩崎达也 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2003-10-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200610109166.2 |
| 公开号： | CN1916718 |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人： | 张天安 |
| 分类号： | G02F1/1333(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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