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基板搬运装置、基板搬运方法以及基板处理系统
| 专利名称： | 基板搬运装置、基板搬运方法以及基板处理系统 |
| 摘要： | 本发明所要解决的技术问题是，不使用齿轮之类的机械式同步机 构，进行驱动力的脱离与结合。在本发明中，腔(31)内的基板搬运 装置，由固定载物台(310)和可动载物台(320)组成。在可动载物 台(320)上，第一、第二和第三从动磁铁(331·332·333)由轴承 部(322)保持，这些从动磁铁，分别被磁偶合，同时第三从动磁铁(333) 和辊磁铁(323)也被磁偶合。进而，第一从动磁铁(331)与驱动磁 铁(330)进行磁偶合，对来自驱动磁铁(330)的驱动力进行脱离或 结合。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社未来视野 |
| 发明人： | 堀口贵弘 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-12-15T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200610173298.1 |
| 公开号： | CN101096245 |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人： | 何腾云 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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