原文传递
搬运系统、基板处理装置以及搬运方法
| 专利名称： | 搬运系统、基板处理装置以及搬运方法 |
| 摘要： | 在本发明中，搬运系统(1)铺设了通过被设置在各处理装置 (10)、(100)、(200)前面侧的载置台(11)等的下方、由覆盖体 (5)覆盖的搬运路径。由于将搬运路径的位置设在下方，载置台(11) 等的占有区域和搬运路径所涉及的区域的一部分被共享，从而节省了空 间，并提高从处理装置(10)、(100)等的前方的访问性，实现了容易 进行维护的布局。载置台(11)等的载置面(11d)等设置成已有的高架 搬运系统和地面搬运系统的无人搬运车(3)的可载置的高度，确保和其 他搬运系统的共存性。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 浅川辉雄 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-10-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200580036730.6 |
| 公开号： | CN101048327 |
| 代理机构： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 |
| 代理人： | 柳春雷 |
| 分类号： | B65G47/46(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
