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基板搬运装置、基板承载架和基板处理装置
| 专利名称： | 基板搬运装置、基板承载架和基板处理装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板搬运装置、基板承载架和基板处理装置，该基板处理 装置由分度器区和处理区组成，利用分度器机器人在分度器区和处理区之间搬 运基板。分度器机器人包括在转动台上设置的上下的两个手部。一手部相对于 另一手部沿铅垂方向移动。一手部和另一手部的高度差能够调整得与运载器的 基板容置槽之间的间隔相同，该运载器容置有被搬入到分度器区内的基板。一 手部和另一手部的高度差能够调整得与设置在分度器区和处理区之间的基板 承载部的支承板之间的间隔相同。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 发明人： | 光吉一郎 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-12-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710305600.9 |
| 公开号： | CN101221918 |
| 代理机构： | 隆天国际知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 徐 恕;马少东 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本京都府京都市 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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