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原文传递基板搬运装置和基板处理装置

专利名称：	基板搬运装置和基板处理装置
摘要：	第2和第3的内部基板搬运装置(120)、(130)具有夹着水平搬运路径并大体对称配置的一对基板搬运部(120a)、(120b)、(130a)、(130b)，基板搬运部具备：具有保持基板(G)周缘的保持部件(111a)、(111b)的搬运臂部件(122a)、(122b)；调节搬运臂部件相互间隔的臂间隔调节机构(123)；以及在基板搬运方向使臂间隔调节机构滑动的臂滑动机构(125)。采用非搬运时缩小搬运臂部件(122a)、(122b)的相互间隔，让第2内部基板搬运装置(120)退避到抗蚀剂涂布装置(CT)(2
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	岸间泰一郎
专利状态：	有效
申请日期：	2003-05-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN03147208.7
公开号：	CN1461726
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	张天安;杨松龄
分类号：	B65G49/06
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利