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原文传递一种基板校准装置及基板搬运装置

专利名称：	一种基板校准装置及基板搬运装置
摘要：	本实用新型提供了一种基板校准装置及基板搬运装置，该基板校准装置包括用于承接基板并可伸缩的顶起机构、以及在顶起机构承接基板后悬浮支撑基板的气浮台。为对基板进行定位，该装置还包括用于对悬浮的基板进行预定位的第一对位单元，该第一对位单元包括多个滑动装配在气浮台上的夹持机构，且在基板的每个边缘对应至少一个夹持机构；其中，在上述的多个夹持机构滑动到第一设定位置时，多个夹持机构夹持基板以实现对基板的预定位。为提高对基板的定位精度，该装置还包括用于对预定位后的基板进行多维度调整的第二对位单元；且该第二对位单元包括设置在气浮台上的多维度调整机构、以及设置在多维度调整机构上并用于吸附基板的第一吸盘。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	合肥欣奕华智能机器有限公司
发明人：	沈洪星;刘正勇;盛俭;刘晏;李建中;熊海军;张作军;李英旭
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-03T00:00:00+0800
申请号：	CN201821938543.8
公开号：	CN209337648U
代理机构：	北京同达信恒知识产权代理有限公司
代理人：	黄志华
分类号：	B65G49/06(2006.01);B;B65;B65G;B65G49
申请人地址：	230013 安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南
主权项：	1.一种基板校准装置，其特征在于，包括：用于承接基板并可伸缩的顶起机构；用于在所述顶起机构承接所述基板后悬浮支撑所述基板的气浮台，其中，所述顶起机构设置在所述气浮台上；用于对悬浮的基板进行预定位的第一对位单元；所述第一对位单元包括多个滑动装配在所述气浮台的夹持机构，且所述基板的每个边缘对应至少一个夹持机构；其中，在所述多个夹持机构滑动到第一设定位置时，所述多个夹持机构夹持所述基板；在所述多个夹持机构滑动到第二设定位置时，所述多个夹持机构解除对所述基板的夹持；用于对预定位后的基板进行多维度调整的第二对位单元；且所述第二对位单元包括设置在所述气浮台的多维度调整机构、以及设置在所述多维度调整机构上并用于吸附所述基板的第一吸盘。 2.如权利要求1所述的基板校准装置，其特征在于，所述多维度调整机构包括：带动所述第一吸盘旋转的旋转机构，其中，所述旋转机构的轴向与所述第一吸盘上用于吸附所述基板的端面垂直；带动所述第一吸盘沿第一方向滑动的第一滑轨机构；带动所述第一吸盘沿第二方向滑动的第二滑轨机构；其中，所述第一方向、第二方向及所述旋转机构的轴向两两相互垂直。 3.如权利要求2所述的基板校准装置，其特征在于，所述第一滑轨机构包括固定设置在所述气浮台上的第一滑轨、以及与所述第一滑轨滑动连接的第一滑台；所述第二滑轨机构包括固定设置在所述第一滑台上的第二滑轨、以及与所述第二滑轨滑动连接的第二滑台；所述旋转机构设置在第二滑台上；所述第一吸盘固定设置在所述旋转机构上，并外露于所述气浮台的表面。 4.如权利要求3所述的基板校准装置，其特征在于，所述多维度调整机构还包括用于带动所述第一吸盘沿着所述旋转机构的轴向伸缩的第一伸缩机构。 5.如权利要求1～4任一项所述的基板校准装置，其特征在于，每个夹持机构包括标杆、以及用于带动所述标杆滑动的第三滑轨机构。 6.如权利要求1所述的基板校准装置，其特征在于，所述顶起机构包括用于支撑所述基板的多个顶杆；其中，每个顶杆与所述气浮台滑动连接；还包括设置在所述气浮台上并用于带动所述多个顶杆同步伸缩的第二伸缩机构；在每个顶杆伸出时，每个顶杆的一端外露于所述气浮台的表面。 7.如权利要求1所述的基板校准装置，其特征在于，还包括：设置在所述气浮台上并用于检测所述基板上的两个基准点位置的检测单元；控制单元，在所述检测单元检测的每个基准点位置与该基准点的设定位置的差值超过设定阈值时，控制所述多维度调整机构调整所述基板直至所述检测单元检测的每个基准点位置与该基准点的设定位置的差值位于所述设定阈值内。 8.一种基板搬运装置，其特征在于，包括：支架；设置在所述支架上的如权利要求1～7任一项所述的基板校准装置；设置在所述支架上并用于搬运所述基板的吸附搬运组件。 9.如权利要求8所述的基板搬运装置，其特征在于，所述吸附搬运组件包括用于吸附所述基板的第二吸盘、以及设置在所述支架上并带动所述第二吸盘滑动的第四滑轨机构。
所属类别：	实用新型