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基板处理装置及基板交接位置的调整方法
| 专利名称： | 基板处理装置及基板交接位置的调整方法 |
| 摘要： | 一种将基板送入送出对基板进行规定的处理的处理单元的基板输送单元，在预先取得基板对基板保持部的交接位置的数据的情况下，以高精度而且在短时间内进行基板的对位。例如在使基板保持部旋转180度时的前后，分别拍摄由基板输送单元交给了基板保持部的对位用的基板表面上形成的标记的位置，根据该标记的位置数据，对基板的中心与基板保持部的旋转中心的位置偏移量进行了运算后，判断由该单元求得的位置偏移量的有无。然后，在断定了有位置偏移量时，将基板重新放置在基板输送单元上，以便基板的中心与基板保持部的旋转中心一致。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 伊藤和彦;石丸和俊;大仓淳;木下道生;道木裕一 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-06-03T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200410048415.2 |
| 公开号： | CN1573568 |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人： | 刘宗杰;叶恺东 |
| 分类号： | G03F7/20 |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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