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基板处理装置及基板处理装置的管理方法
| 专利名称： | 基板处理装置及基板处理装置的管理方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基板处理装置及基板处理装置的管理方法，在基板处理装置中对各动作部进行各式各样的维护工作。在装置空间的侧面规定位置设置有门，在各个门设置着联锁开关。在每个门的附近设置有联锁解除部，其用于将联锁开关的功能设定为无效，使装置空间内各动作部中特定的动作部的电源为断开状态，将其他动作部的电源维持为接通状态。在装置空间的侧面的规定位置设置着再动作指令部，其用于通过联锁解除部的操作，使成为断开状态的特定的动作部的电源成为接通状态。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 发明人： | 稻田龙彦;十野浩之 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-12-10T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200410100291.8 |
| 公开号： | CN1626418 |
| 代理机构： | 隆天国际知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 经志强;潘培坤 |
| 分类号： | B65G43/00 |
| 申请人地址： | 日本京都府 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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