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基板翻转装置及方法、基板运送装置及方法、基板处理装置及方法
| 专利名称： | 基板翻转装置及方法、基板运送装置及方法、基板处理装置及方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基板翻转装置及方法、基板运送装置及方法、基板处理装 置及方法，基板被支承在第二可动构件上所设置的多个基板支承销上。接着， 第一及第二可动构件相互移动，使得多个基板支承销接近第一可动构件上所设 置的多个基板支承销。接着，在基板被保持于基板支承销之间的状态下，第一 及第二可动构件被翻转。而且，第一及第二可动构件相对移动，使得多个基板 支承销相互离开。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 发明人： | 桥本光治 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-06-13T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200510077906.4 |
| 公开号： | CN1712333 |
| 代理机构： | 隆天国际知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 高龙鑫;王玉双 |
| 分类号： | B65G49/00 |
| 申请人地址： | 日本京都府京都市 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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