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基板收纳设备及基板处理设备及基板收纳设备的动作方法
| 专利名称： | 基板收纳设备及基板处理设备及基板收纳设备的动作方法 |
| 摘要： | 一种基板收纳设备，包括：收纳容器，将基板以在上下方向上隔开 间隔而配置的状态保持多张，收纳容器形成为整体具有四边形的截面的 筒状，即具有其一端侧的第1开口、和在水平方向上与第1开口隔开间 隔的另一端侧设置的第2开口，第1开口构成为用于输入输出基板的输 入输出口；风扇过滤单元，装备在收纳容器的第2开口的区域，用于从 第2开口朝向第1开口通风；控制机构，控制收纳容器搬运装置的动作， 这里，控制机构控制收纳容器搬运装置的动作，在使收纳容器的装备有 风扇过滤单元的一侧位于移动空间一侧、且使收纳容器的 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社大福 |
| 发明人： | 池畑淑照 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-09-12T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710148957.0 |
| 公开号： | CN101143644 |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人： | 崔幼平 |
| 分类号： | B65G1/04(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本大阪府大阪市 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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