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原文传递基板处理设备

专利名称：	基板处理设备
摘要：	本发明提供一种串列式多室基板处理设备，其具有简单的构造，能够降低膜剥离导致的粒子的影响，且能够安装多个处理室。在本发明的一个实施方式中，传送机器手的无关节的臂(4)布置在能够抽气的第一处理室(1)内，其中臂(4)具有基板保持部(4a)且在保持预定的臂长的状态下能执行转动运动。第一加工室(1)构造成能够通过传送机器手的臂(4)从邻接的第二加工室(15)经由开口(20)传送基板。作为臂退避位置和基板安装位置的保持件(7)以与当传送机器手的臂(4)绕转动轴(4b)转动时基板保持部(4a)的轨迹重叠的方式定位。
专利类型：	发明专利
申请人：	佳能安内华股份有限公司
发明人：	田代征仁;中泽俊和
专利状态：	有效
申请日期：	2010-07-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201080032021.1
公开号：	CN102484090A
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本神奈川县
所属类别：	发明专利