专利名称: | 基板收纳箱 |
摘要: | 一种基板收纳箱,可以缩小基板收纳间距并使基板收纳箱小型化和轻量化。基板收纳箱1备有形成了支持靠近基板100的中心位置的向上凸部53的基板支承物5,在由机械手等搬运机构200进行基板100的出入的基板收纳箱1中,把基板支承物5的形状做成摹仿搬运机构200从下方支持基板100时基板100产生的挠曲的形状。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 株式会社爱科技 |
发明人: | 木全一夫;中森孝雄;加藤克彦;中野清憲 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2002-12-26T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN02158466.4 |
公开号: | CN1428279 |
代理机构: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人: | 何腾云 |
分类号: | B65D85/48 |
申请人地址: | 日本爱知县 |
所属类别: | 发明专利 |