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原文传递 基板收纳箱
专利名称: 基板收纳箱
摘要: 一种基板收纳箱,可以缩小基板收纳间距并使基板收纳箱小型化和轻量化。基板收纳箱1备有形成了支持靠近基板100的中心位置的向上凸部53的基板支承物5,在由机械手等搬运机构200进行基板100的出入的基板收纳箱1中,把基板支承物5的形状做成摹仿搬运机构200从下方支持基板100时基板100产生的挠曲的形状。
专利类型: 发明专利
申请人: 株式会社爱科技
发明人: 木全一夫;中森孝雄;加藤克彦;中野清憲
专利状态: 有效
申请日期: 2002-12-26T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN02158466.4
公开号: CN1428279
代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人: 何腾云
分类号: B65D85/48
申请人地址: 日本爱知县
所属类别: 发明专利
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