详情

原文传递基板收纳容器

专利名称：	基板收纳容器
摘要：	提供一种能够降低吸湿性及水分透过性、抑制基板的有机污染的便宜的基板收纳容器。具备将多片半导体晶片整齐排列收纳的前开盒型的容器主体（1）、和经由密封用的衬垫拆装自如地嵌合在该容器主体（1）的开口的正面（6）上的盖体（20），将这些容器主体（1）和盖体（20）用含有吸水率为0.1%以下、在80℃下加热24小时而通过动态顶空法测量的总脱气量为15ppm以下的合成树脂的成形材料分别注射成形。使成形材料的合成树脂为从环烯聚合物、液晶聚合物、聚醚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、或聚对苯二甲酸乙二醇酯中选择的至少一种、或者它们的合金树脂。
专利类型：	发明专利
申请人：	信越聚合物株式会社
发明人：	益子秀洋;三村博;小川统
专利状态：	有效
申请日期：	2010-06-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201080030867.1
公开号：	CN102473664A
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：	朱美红;杨楷
分类号：	H01L21/673(2006.01)I
申请人地址：	日本国东京都
主权项：	一种基板收纳容器，是具备收纳基板的容器主体、和经由衬垫拆装自如地嵌合在该容器主体的开口部上的盖体、将这些容器主体和盖体用含有吸水率为0.1%以下、在80℃下加热24小时而通过动态顶空法测量的总脱气量为15ppm以下的合成树脂的成形材料分别成形的基板收纳容器，其特征在于，使成形材料的合成树脂为从环烯聚合物、液晶聚合物、聚醚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、或聚对苯二甲酸乙二醇酯中选择的至少一种、或者它们的合金树脂。
所属类别：	发明专利