专利名称: |
基板收纳容器的锁止解除机构 |
摘要: |
提供一种能够高效地解除基板收纳容器的盖体的锁止的机构。具备:驱动机构(110),其具备解除杆动作机构(100)和缸(112),解除杆动作机构(100)经由设置于台板的开口(7a)延伸到基板收纳容器(1)的卡止片(5)附近,转动并向外方按压卡止片(5)而解除盖体(2)的锁止,缸(112)直线运动而向使解除杆动作机构(100)转动规定角度的滑动部(120)输入规定动作;同步环(11),其连接有环臂(101)的另一端,该环臂(101)的一端与滑动部(120)连接;滑动部(160),其经由与同步环(11)连接的环臂(151)输入有与滑动部(120)相同的滑动量;从动机构(150),其通过滑动部(160)的滑动动作而转动,解除基板收纳容器(1)的卡止片(5)的锁止。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
日本;JP |
申请人: |
株式会社JEL |
发明人: |
森田泰史;滨田浩三 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2018-07-18T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-09-17T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810788930.6 |
公开号: |
CN110239832A |
代理机构: |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人: |
韩锋 |
分类号: |
B65D55/02(2006.01);B;B65;B65D;B65D55 |
申请人地址: |
日本广岛县 |
主权项: |
1.一种基板收纳容器的锁止解除机构,设置于载置所述基板收纳容器的台板的下部,用于解除对基板收纳容器的盖体进行锁止的卡止部件的卡止,该基板收纳容器的锁止解除机构的特征在于,包含: 驱动机构,其具备锁止解除部件、滑动部件和缸,所述锁止解除部件能够转动地支承于所述台板,设置为经由设置于所述台板的开口而延伸到所述基板收纳容器的一个卡止部件的附近,该锁止解除部件转动并向外方按压所述卡止部件而解除所述盖体的锁止,所述滑动部件直线运动而使所述锁止解除部件转动规定角度,所述缸向该滑动部件输入规定的直线运动动作; 第一环臂,其一端与所述滑动部件连接; 同步环,其连接有所述第一环臂的另一端; 从动机构,其具备滑动部件和锁止解除部件,所述滑动部件经由与所述同步环连接的第二环臂输入有与所述驱动机构的滑动部件相同的滑动量,所述锁止解除部件通过该滑动部件的滑动动作而转动,向外方按压所述基板收纳容器的另一卡止部件而解除所述盖体的锁止。 2.根据权利要求1所述的基板收纳容器的锁止解除机构,其特征在于, 所述滑动部件具备引导滑接体和滑块本体,所述引导滑接体沿着在所述台板下表面设置的引导部件滑动接触,所述滑块本体接收来自所述缸的活塞杆的输入动作, 在所述滑块本体的滑动方向前端形成有楔状斜面部,该楔状斜面部滑动而与所述锁止解除部件的对置的楔状斜面部抵接,使所述锁止解除部件转动规定角度。 3.根据权利要求1所述的基板收纳容器的锁止解除机构,其特征在于, 所述锁止解除部件具备:杆保持体,其转动支承于所述台板,通过所述滑动部件的抵接而转动;杆部件,其与该杆保持体一体地转动而按压所述卡止部件。 4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板收纳容器的锁止解除机构,其特征在于, 所述同步环与所述第一环臂的位移对应地转动规定角度,所述第一环臂的位移对应于所述驱动机构的滑动部件的滑动量而产生,经由与所述同步环连接的第二环臂向所述从动机构输入与所述驱动机构的滑动部件相同的滑动量。 5.根据权利要求3所述的基板收纳容器的锁止解除机构,其特征在于, 所述锁止解除部件的杆部件在所述盖体被取走期间保持按压所述卡止部件的状态而将所述基板收纳容器固定保持在所述台板上。 6.根据权利要求1所述的基板收纳容器的锁止解除机构,其特征在于, 两台所述驱动机构和两台所述从动机构经由所述同步环、所述第一环臂以及所述第二环臂同步动作。 7.根据权利要求1所述的基板收纳容器的锁止解除机构,其特征在于, 在所述从动机构设有所述滑动部件的位置检测部。 |
所属类别: |
发明专利 |