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原文传递基板传送装置和包括其的基板检查装置

专利名称：	基板传送装置和包括其的基板检查装置
摘要：	本发明公开一种基板传送装置和包括该基板传送装置的基板检查装置，其中该基板传送装置包括：至少一个悬浮板，其在第一方向上延伸；第一抽吸移动器，其配置为沿所述至少一个悬浮板的一侧在第一方向上移动，并且包括第一吸垫和第一旋转驱动部分，第一吸垫配置为选择性地吸住基板的下表面的第一部分，第一旋转驱动部分配置为使第一吸垫绕第一中心轴线旋转；以及第二抽吸移动器，其被设置为与第一抽吸移动器间隔开，并且配置为沿所述至少一个悬浮板的所述一侧在第一方向上移动，并且包括第二吸垫和第二旋转驱动部分，第二吸垫配置为选择性地吸住基板的下表面的第二部分，第二旋转驱动部分配置为使第二吸垫绕第二中心轴线旋转。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	韩国;KR
申请人：	三星电子株式会社
发明人：	徐元国;尹贵玹;许瑛
专利状态：	有效
申请日期：	2018-10-18T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-07T00:00:00+0800
申请号：	CN201811213590.0
公开号：	CN109720874A
代理机构：	北京市柳沈律师事务所
代理人：	张波;弋桂芬
分类号：	B65G49/06(2006.01);B;B65;B65G;B65G49
申请人地址：	韩国京畿道
主权项：	1.一种基板传送装置，包括：至少一个悬浮板，其在第一方向上延伸并具有喷射孔，气体通过所述喷射孔被喷射以使基板悬浮；第一抽吸移动器，其配置为沿所述至少一个悬浮板的一侧在所述第一方向上移动，所述第一抽吸移动器包括：第一吸垫，其配置为选择性地吸住所述基板的下表面的第一部分；以及第一旋转驱动部分，其配置为使所述第一吸垫绕第一中心轴线旋转；以及第二抽吸移动器，其与所述第一抽吸移动器间隔开，并且配置为沿所述至少一个悬浮板的所述一侧在所述第一方向上移动，所述第二抽吸移动器包括：第二吸垫，其配置为选择性地吸住所述基板的所述下表面的第二部分；以及第二旋转驱动部分，其配置为使所述第二吸垫绕第二中心轴线旋转。 2.如权利要求1所述的基板传送装置，还包括：导轨，其在所述第一方向上延伸；以及可移动板，其配置为沿所述导轨在所述第一方向上移动，其中所述第一抽吸移动器和所述第二抽吸移动器设置在所述可移动板上，以及其中所述第一抽吸移动器在所述第一方向上与所述第二抽吸移动器间隔开。 3.如权利要求2所述的基板传送装置，还包括可移动块，其中所述可移动板通过所述可动块设置在所述导轨上。 4.如权利要求3所述的基板传送装置，其中所述第一抽吸移动器和所述第二抽吸移动器固定地设置在所述可移动板上。 5.如权利要求1所述的基板传送装置，其中所述第一抽吸移动器包括第一旋转轴驱动电机，所述第一旋转轴驱动电机配置为驱动所述第一旋转驱动部分的第一旋转轴，以及其中所述第二抽吸移动器包括第二旋转轴驱动电机，所述第二旋转轴驱动电机配置为驱动所述第二旋转驱动部分的第二旋转轴。 6.如权利要求1所述的基板传送装置，其中所述第一旋转驱动部分还配置为，在所述第一吸垫吸住所述基板并且所述第二吸垫不吸住所述基板的第一状态下，使所述第一吸垫旋转以使得所述基板绕所述第一中心轴线旋转，从而在垂直于所述第一方向的第二方向上对准所述基板，以及其中所述第二旋转驱动部分还配置为，在所述第一吸垫不吸住所述基板并且所述第二吸垫吸住所述基板的第二状态下，使所述第二吸垫旋转以使得所述基板绕所述第二中心轴线旋转，从而在所述第二方向上对准所述基板。 7.如权利要求6所述的基板传送装置，其中所述第一抽吸移动器和所述第二抽吸移动器还配置为，在所述第一吸垫和所述第二吸垫吸住所述基板并且所述基板在所述第二方向上对准的第三状态下，在所述第一方向上移动。 8.如权利要求1所述的基板传送装置，其中所述至少一个悬浮板包括第一悬浮板和第二悬浮板，所述第二悬浮板在垂直于所述第一方向的第二方向上与所述第一悬浮板相对设置，以及其中所述第一抽吸移动器和所述第二抽吸移动器设置在所述第一悬浮板与所述第二悬浮板之间。 9.如权利要求8所述的基板传送装置，还包括导轨，该导轨在所述第一方向上延伸并且设置在所述第一悬浮板与所述第二悬浮板之间，其中所述第一抽吸移动器和所述第二抽吸移动器设置在所述导轨上。 10.如权利要求1所述的基板传送装置，其中所述第一吸垫的第一上表面和所述第二吸垫的第二上表面设置得高于所述至少一个悬浮板的第三上表面。 11.一种基板传送装置，包括：第一悬浮板，其在第一方向上延伸；第二悬浮板，其在所述第一方向上延伸，并且在垂直于所述第一方向的第二方向上与所述第一悬浮板相对设置，所述第一悬浮板和所述第二悬浮板中的每个具有喷射孔，气体通过所述喷射孔被喷射以使基板悬浮；导轨，其在所述第一方向上延伸，并且设置在所述第一悬浮板与所述第二悬浮板之间；第一抽吸移动器，其配置为沿所述导轨移动，所述第一抽吸移动器包括：第一吸垫，其配置为选择性地吸住所述基板的下表面的第一部分；以及第一旋转驱动部分，其配置为使所述第一吸垫绕第一中心轴线旋转；以及第二抽吸移动器，其在所述第一方向上与所述第一抽吸移动器间隔开，并且配置为沿所述导轨移动，所述第二抽吸移动器包括：第二吸垫，其配置为选择性地吸住所述基板的所述下表面的第二部分；以及第二旋转驱动部分，其配置为使所述第二吸垫绕第二中心轴线旋转。 12.如权利要求11所述的基板传送装置，还包括可移动板，所述可移动板配置为沿所述导轨在所述第一方向上移动，其中所述第一抽吸移动器和所述第二抽吸移动器设置在所述可移动板上。 13.如权利要求11所述的基板传送装置，其中所述第一抽吸移动器包括第一旋转轴驱动电机，所述第一旋转轴驱动电机配置为驱动所述第一旋转驱动部分的第一旋转轴，以及其中所述第二抽吸移动器包括第二旋转轴驱动电机，所述第二旋转轴驱动电机配置为驱动所述第二旋转驱动部分的第二旋转轴。 14.如权利要求11所述的基板传送装置，其中所述第一旋转驱动部分还配置为，在所述第一吸垫吸住所述基板并且所述第二吸垫不吸住所述基板的第一状态下，使所述第一吸垫旋转以使得所述基板绕所述第一中心轴线旋转，从而在所述第二方向上对准所述基板，以及其中所述第二旋转驱动部分还配置为，在所述第一吸垫不吸住所述基板并且所述第二吸垫吸住所述基板的第二状态下，使所述第二吸垫旋转以使得所述基板绕所述第二中心轴线旋转，从而在所述第二方向上对准所述基板。 15.如权利要求14所述的基板传送装置，其中所述第一抽吸移动器和所述第二抽吸移动器还配置为，在所述第一吸垫和所述第二吸垫吸住所述基板并且所述基板在所述第二方向上对准的第三状态下，在所述第一方向上移动。 16.一种基板检查装置，包括：第一悬浮板，其在第一方向上延伸；第二悬浮板，其在所述第一方向上延伸，并且在垂直于所述第一方向的第二方向上与所述第一悬浮板相对设置，所述第一悬浮板和所述第二悬浮板中的每个具有喷射孔，气体通过所述喷射孔被喷射以使基板悬浮；导轨，其在所述第一方向上延伸，并且设置在所述第一悬浮板与所述第二悬浮板之间；第一抽吸移动器，其配置为沿所述导轨移动，所述第一抽吸移动器包括：第一吸垫，其配置为选择性地吸住所述基板的下表面的第一部分；以及第一旋转驱动部分，其配置为使所述第一吸垫绕第一中心轴线旋转；第二抽吸移动器，其设置为在所述第一方向上与所述第一抽吸移动器间隔开，并且配置为沿所述导轨移动，所述第二抽吸移动器包括：第二吸垫，其配置为选择性地吸住所述基板的所述下表面的第二部分；以及第二旋转驱动部分，其配置为使所述第二吸垫绕第二中心轴线旋转；以及检查模块，其配置为检测由所述第一抽吸移动器和所述第二抽吸移动器传送的所述基板中的缺陷。 17.如权利要求16所述的基板检查装置，还包括可移动板，所述可移动板配置为沿所述导轨在所述第一方向上移动，其中所述第一抽吸移动器和所述第二抽吸移动器设置在所述可移动板上。 18.如权利要求16所述的基板检查装置，其中所述第一吸垫和所述第二吸垫的第一上表面定位得高于所述第一悬浮板和所述第二悬浮板的第二上表面。 19.如权利要求16所述的基板检查装置，其中所述第一旋转驱动部分还配置为，在所述第一吸垫吸住所述基板并且所述第二吸垫不吸住所述基板的第一状态下，使所述第一吸垫旋转以使得所述基板绕所述第一中心轴线旋转，从而在所述第二方向上对准所述基板，以及其中所述第二旋转驱动部分还配置为，在所述第一吸垫不吸住所述基板并且所述第二吸垫吸住所述基板的第二状态下，使所述第二吸垫旋转以使得所述基板绕所述第二中心轴线旋转，从而在所述第二方向上对准所述基板。 20.如权利要求19所述的基板检查装置，其中所述第一抽吸移动器和所述第二抽吸移动器还配置为，在所述第一吸垫和所述第二吸垫吸住所述基板并且所述基板在所述第二方向上对准的第三状态下，在所述第一方向上移动。
所属类别：	发明专利